功能圖形

功能圖形，functional pattern；pattern；functional pattern preferred，使用光致抗蝕劑塗層的特定製造步驟所要求的全體同類圖像。

例如，在去除積體電路基區氧化物的典型步驟中，這包括呈現在此步驟中積體電路布局圖上的所有基區視窗、電阻視窗、電極視窗、基區測試圖以及對準標記。