光學標準平面

概述

光學標準平面是一個經過精密拋光的表面。它作為參考面，可對未知表面進行比較檢測。這些標準鏡可用於許多方面，如；測量塊規的磨損和精度，測量視窗、稜鏡、濾色片和反射鏡等各種元件的面形精度。它們也可作為干涉儀中的標準平面鏡。

光學標準平面的面形精度

對拋光表面的面形測量是靠被測面與參考面之間的條紋彎曲量來確定的。

面形精度等於干涉條紋的彎曲量比上條紋間距。

N=h/H

干涉條紋直、彼此平行、條紋間距相等表示被測面的面形精度好或等於參考平面的面形精度。