光學投影曝光微納加工技術

基本信息

作　者：姚漢民，胡松，邢廷文 著叢 書 名：電子束離子束光子束微納加工技術系列專著出 版 社：北京工業

大學出版社ISBN：9787563916696出版時間：2006-12-01版　次：1頁　數：285裝　幀：平裝開　本：16開所屬分類：圖書 > 科技 > 電子與通信

編輯推薦

本書系統地介紹了光學光刻技術的發展歷史、主流光刻技術——光學投影光刻的工作原理、分類、組成的分系統及關鍵單元技術、技術發展趨勢和前景。這本書是對我國光學光刻技術20多年來的工作實踐和創新成果的系統總結，同時還介紹了光學投影光刻的最新進展和納米光刻新技術的前景展望。各章節選題和結構合理。本書可作為微電子設備專業領域的科技人員和從事半導體、微機械、微光學、紅外器件、顯示器件等微(米)納(米)加工技術領域的科技人員的技術參考書，同時還可作為相關高等院校教師、研究生和本科生的參考用書。