余擺線真空泵
正文
英文名
trochoidalvacuumpump原理
余擺線型轉子在泵腔內作行星運動,使工作室容積周期性變化以實現抽氣的真空泵。它主要由泵體和轉子構成。圖為余擺線真空泵的工作原理和傳動機構。轉子的型線為余擺線,泵腔型線為轉子型線的外包絡線。轉子上的內齒輪與固定在泵蓋上的小齒輪嚙合。當轉動軸旋轉時,偏心輪即帶動內齒輪(即轉子)繞小齒輪作行星運動。泵體Μ點永遠與轉子表面接觸,將泵腔分隔成兩個工作室A和B。轉子逆時針方向旋轉,與排氣口相通的B室內的氣體逐漸被壓縮,壓力逐漸升高。當壓力升高到大氣壓力時,氣體即推開排氣閥排出泵外。同時,A室內的氣體壓力則逐漸降低,於是被抽氣體從吸氣口源源不斷地吸進,直至吸氣口被轉子表面隔離而終了。轉子連續不斷地旋轉,泵即連續抽氣。在泵腔內各運動件表面間用油膜密封,所以這種泵是一種油封式機械真空泵。余擺線真空泵的極限壓力可達 1帕,在壓力為103~13帕時可達到額定抽氣速率。工作壓力範圍為105~1帕。