余擺線真空泵

余擺線真空泵是余擺線型轉子在泵腔內作行星運動，使工作室容積周期性變化以實現抽氣的真空泵。余擺線真空泵由於結構複雜、製造困難，推廣使用受到一定的限制。

余擺線真空泵

正文　

英文名

trochoidalvacuumpump

原理

余擺線型轉子在泵腔內作行星運動，使工作室容積周期性變化以實現抽氣的真空泵。它主要由泵體和轉子構成。圖為余擺線真空泵的工作原理和傳動機構。轉子的型線為余擺線，泵腔型線為轉子型線的外包絡線。轉子上的內齒輪與固定在泵蓋上的小齒輪嚙合。當轉動軸旋轉時,偏心輪即帶動內齒輪(即轉子)繞小齒輪作行星運動。泵體Μ點永遠與轉子表面接觸，將泵腔分隔成兩個工作室A和B。轉子逆時針方向旋轉，與排氣口相通的B室內的氣體逐漸被壓縮,壓力逐漸升高。當壓力升高到大氣壓力時，氣體即推開排氣閥排出泵外。同時，A室內的氣體壓力則逐漸降低,於是被抽氣體從吸氣口源源不斷地吸進，直至吸氣口被轉子表面隔離而終了。轉子連續不斷地旋轉，泵即連續抽氣。在泵腔內各運動件表面間用油膜密封，所以這種泵是一種油封式機械真空泵。余擺線真空泵的極限壓力可達 1帕，在壓力為103～13帕時可達到額定抽氣速率。工作壓力範圍為105～1帕。

余擺線真空泵

現狀

余擺線真空泵由於結構複雜、製造困難，推廣使用受到一定的限制。但它運轉平穩,噪聲小,體積和重量小(與相同抽速的滑閥真空泵比較體積和重量均減小1／3)，比功率小。它同其他油封式機械真空泵一樣，可單獨使用或作為擴散泵和增壓泵等的前級泵。因此，在真空冶煉、真空熱處理、真空乾燥和真空浸漬，以及化工和食品工業中均可用它作為抽氣設備。

配圖

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