介紹
介質阻擋放電是用絕緣介質插入放電空間的一種氣體放電方式。當在放電電極上施加足夠高的交流電壓時,電極間的氣體,既使在很高氣壓下也會被擊穿而形成介質阻擋微放電,其電子能量較高,重粒子能量低。如果用隔片隔離形成高精度的窄放電間隙,則在放電間隙里會實現強電離放電。普通的介質阻擋放電間隙的折合電場強度(E/n,E為電場強度,n為氣體濃度,其單位為Td,Td=10-17V•cm2)一般為100Td左右,電子平衡能量為5eV左右[2],1996年,葛本昌樹等人採用強電離放電方法,其折合電場強度達到350Td以上,電子平均能量達到氧分子分解閥值8.4eV以上。