國內有關的研究和生產。1977年以後主要從事大規模、超大規模集成技術及器件...退火技術和設備。近期的研究包括：系統晶片集成和微電子機械技術。 在清華大學...研製成1μ漢字ROMVLSI。這些成果代表了當時中國IC技術的最先進水平...
