位置敏感器件PSD(Position Sensitive Detector)。PSD 屬於半導體器件, 一般做成P+I+N結構,具有高靈敏度、高解析度、回響速度快和配置電路簡單等優點, 其弱點主要是非線性。其工作原理是基於橫向光電效應。
PSD 的結構和工作原理
PSD 的工作原理基於橫向光電效應。
PSD 由三層構成, 最上一層是P 層, 下層是N 層,中間插入一較厚的高阻I層,形成P-I- N 結構。
此結構的特點是 I 層耗盡區寬,結電容小, 光生載流子幾乎全部都在 I 層耗盡區中產生,沒有擴散分量的光電流, 因此回響速度比普通PN 結光電二極體要快得多。
當PSD 表面受到光照射時,在光斑位置處產生比例於光能量的電子—空穴對流過P 層電阻, 分別從設定在P 層相對的兩個電極上輸出光電流 I 1 和 I 2。
由於P 層電阻是均勻的,電極輸出的光電流反比於入射光斑位置到各自電極之間的距離。
套用
作為新型器件, PSD 已經被廣泛套用在位置坐標的精確測量上, 如: 兵器制導和跟蹤、工業自動控制、或位置變化等技術領域上。