DMOS器件是由成百上千的單一結構的DMOS 單元所組成的。這些單元的數目是根據一個晶片所需要的驅動能力所決定的,DMOS的性能直接決定了晶片的驅動能力和晶片面積。對於一個由多個基本單元結構組成的LDMOS器件,其中一個最主要的考察參數是導通電阻,用R ds(on)表示。導通電阻是指在器件工作時,從漏到源的電阻。對於 LDMOS器件應儘可能減小導通電阻,就是BCD(Bipolar-CMOS-DMOS,雙極—互補金屬氧化物半導體—雙重擴散金屬氧化物半導體)工藝流程所追求的目標。當導通電阻很小時,器件就會提供一個很好的開關特性,因為漏源之間小的導通電阻,會有較大的輸出電流,從而可以具有更強的驅動能力。DMOS的主要技術指標有:導通電阻、閾值電壓、擊穿電壓等。
在功率套用中,由於DMOS技術採用垂直器件結構(如垂直NPN雙極電晶體),因此具有很多優點,包括高電流驅動能力、低Rds導通電阻和高擊穿電壓等。