XeOF4

XeOF4是一種比較穩定的氙化合物，它在常溫下是一種無色液體，分子形狀是四方錐形，熔點約為-46℃（227K），可以由六氟化氙通過不完全水解獲得。

XeF6+H2O==XeOF4+2HF↑

（完全水解發生的反應為XeF6+3H2O==XeO3+6HF↑）

XeOF4

需要注意，HF，即氟化氫，具有強腐蝕性和刺激性，所以必須做好防護。