SOI[圖書名稱]

《SOI:納米技術時代的高端矽基材料》是中國科學技術大學出版社於2009年6月出版圖書。

出版信息

書 名: SOI:納米技術時代的高端矽基材料

SOI[圖書名稱] SOI[圖書名稱]

作 者:林成魯

出版社:中國科學技術大學出版社

出版時間: 2009年06月

ISBN: 9787312022333

開本: 16開

定價: 88元

內容簡介

《SOI:納米技術時代的高端矽基材料》講述了:絕緣體上矽技術在高速、低壓低功耗電路、高壓電路、抗輻射、耐高溫電路、微機械感測器、光電集成等方面具有重要套用,是微電子和光電子領域發展的前沿,被國際上公認為“二十一世紀的矽積體電路技術”。

《SOI:納米技術時代的高端矽基材料》收集的納米技術時代的高端矽基SOI材料方面的研究論文40篇,主要內容包括:SOI——納米技術時代的高端矽基材料進展,SOI新材料的製備科學,SOI材料與器件特有的物理效應,絕緣體上鍺矽新結構和應變矽的製備科學,SOI技術的若干套用研究等。書中包含了高端矽基材料前沿領域的多方面創新研究成果。

《SOI:納米技術時代的高端矽基材料》可作為微電子、光電子、微機械、半導體材料、納米材料等專業的大專院校師生和專業技術人員重要的參考書,也可以作為信息領域其他專業的師生、科研人員和工程技術人員參考資料。

作者簡介

林成魯,1965年畢業於中國科技大學近代化學系,現為中國科學院上海微系統與信息技術研究所研究員、博士生導師,上海新傲科技有限公司總工程師。長期從事高端矽基半導體新材料SOI(silicon on insulator)的研究。20世紀80年代,在國內率先開展SOI技術基礎研究;90年代,作為SOI創新項目總設計師,組織領導突破SOI材料工程化的關鍵技術;2001年開始,作為新傲公司總工程師,為成功實現SOI研究成果轉化,打破國外的技術封鎖,為建成國內唯一的SOI材料工業化生產線做出了重要貢獻,實現了我國微電子材料的跨越式發展,取得了重大的經濟和社會效益。先後承擔國家攻關、“973”、“863”等多項國家重大項目。在國內外刊物上發表論文300餘篇,被SCI收錄的論文240餘篇。申請的國家發明專利19項,其中已授權12項。前後已為國家培養數十名研究生,所培養的研究生中獲全國百篇優秀博士論文2名。曾獲得國家科技進步一等獎、中科院傑出科技成就獎等十一項獎勵。

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