產品簡介
SM5420CSM5420C具有以下
SM5420C-030-A-P
SM5420C-100-A-H
進氣壓力感測器輪胎壓力監測系統TPMS用SM5420壓力感測器
該感測器使用SMI公司經過最佳化的矽微結構的SM5108晶圓，並能為如此小的壓力感測器提供比較高的精確度。這種優越性能通過細微電阻安裝和微機械配置以及先進的MEMS加工技術而得。
這種感測器是為大批量使用而價格又成為關鍵因素的客戶而設計，如胎壓計或者是輪胎氣壓監測系統。SM5420為絕壓類型的壓力感測器，滿量程範圍為15psi、30psi和100psi,SM5420是基於大批量使用陶瓷基板或者是印刷電路板的製造商而設計。
特點套用
SM5420可以選用帶連線埠的配置或者帶孔配置，讓進氣通過連線埠上方或者壓力源的正向定位用於感應一般環境壓力或者與O形的密封圈一起使用。該連線埠方向已選定以最小化因惡劣環境中附加的長期依賴而造成的壓力脈衝直接衝擊壓力晶圓正面的幾率。該器件對帶有凝膠的作為標準，大量訂購該器件並需要最大化穩定性的可以不帶凝膠，比如在氣壓站、氣象站的感測套用。
| 特點15psi、30psi和100psi寬工作溫度範圍（-40至+125℃）適用於自動化流水線裝配超低價格小外型封裝（0.16英寸Ⅹ0.16英寸）恆定電流或者恆定電壓供電較大的mV電壓輸出沒有溫度補償及零點校準 | 套用汽車輪胎壓力監測引擎控制氣壓感測海拔高度校正儀氣動儀表手持式儀表家電 |
性能參數
所有參數在室溫25℃，5V直流恆壓源供電的條件下測量而得，除非另外規定。
| 最小值 | 典型值 | 最大值 | 單位 | |
| 激勵電壓源DC | 0 | 5.0 | 10 | V |
| 激勵電流源DC | 0 | 1.0 | 1.6 | mA |
| 滿量程輸出PSI （kPa） | ||||
| 15（103） | 95 | 127 | 160 | mv |
| 30（207） | 65 | 100 | 135 | mv |
| 100（689） | 65 | 100 | 135 | mv |
| 零點輸出 | -35 | 0 | 35 | mV |
| 滿量程溫度係數 | -0.24 | -0.19 | -0.155 | %FS/℃ |
| 零點溫度係數 | -0.07 | -0.01 | +0.07 | %FS/℃ |
| 電阻溫度係數 | +0.24 | +0.275 | +0.33 | %RB/℃ |
| 壓力線性度（非線性誤差） | -0.20 | -0.07 | +0.20 | %FS |
| 橋臂阻抗（橋臂電阻） | 4 | 5 | 6 | kΩ |
| 輸入電容 | <2 | pF | ||
| 耐壓 | 3Ⅹ | Rated FS | ||
| 爆破壓力 | 5Ⅹ | Rated FS | ||
| 工作溫度 | -40 | +125 | ℃ | |
| 存儲溫度 | -40 | +150 | ℃ | |
注意事項
1、電橋可以被正電壓或者負電壓激勵；正輸出適用在正電壓激勵正壓力載入在晶圓上
2、在5V恆定電壓激勵下測量
3、測量從0到70℃
4、最佳直線擬合
