射頻收發核心電路射頻即Radio Frequency,通常縮寫為RF。表示可以輻射到空間的電磁頻率,頻率範圍從300KHz~30GHz之間。射頻簡稱RF射頻就是射頻電流,它是一種高頻交流變化電磁波的簡稱。每秒變化小於1000次的交流電稱為低頻電流,大於10000次的稱為高頻電流,而射頻就是這樣一種高頻電流。有線電視系統就是採用射頻傳輸方式。 在電子學理論中,電流流過導體,導體周圍會形成磁場;交變電流通過導體,導體周圍會形成交變的電磁場,稱為電磁波。在電磁波頻率低於100khz時,電磁波會被地表吸收,不能形成有效的傳輸,但電磁波頻率高於100khz時,電磁波可以在空氣中傳播,並經大氣層外緣的電離層反射,形成遠距離傳輸能力,我們把具有遠距離傳輸能力的高頻電磁波稱為射頻,射頻技術在無線通信領域中被廣泛使用。
在半導體製造行業中,在生產晶片、處理器等半導體器件、薄膜太陽能電池、液晶等平板顯示器過程中,都要用到這種電源。是產生電漿的配套電源,由射頻功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率計組成,是八十年末期在我國新興的高科技領域,套用於射頻濺射,PECVD 化學氣相沉積,反應離子刻蝕等設備中。
目前,射頻電源技術主要掌握在美、日、德等少數國家的少數廠家中,如美國的AE(Advanced Energy)、MKS(MKS Instruments)、美國的COMDEL、日本的DAIHEN、德國的Huettinger等。
射頻電源的用途及工作原理:射頻電源是用於鍍膜設備中旅,通過該設備中的功放模組產生高頻電壓、電流,將常規使用的220V電壓和頻率50/60MHZ轉換為可變的13.56MHZ電壓電流。
根據射頻的特點,它在工業農業、甚至醫療上面都有廣泛的套用,是時代發展的標誌!