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MEMS
MEMS是微機電系統（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文縮寫。它是將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業技術，...
簡介 技術條件 組成部分 影響 套用領域 -
生物MEMS
生物MEMS（Bio MEMS）是指MEMS技術在生物學領域中套用的微製造技術。由於採用了微機械製造技術，Bio MEMS具有微米量級的特徵尺寸，可以實...
生物MEMS的特點 典型的Bio MEMS器件 -
MEMS強鏈及其套用
《MEMS強鏈及其套用》簡介：MEMS強鏈也稱MEMS密碼鎖，是一種用於高風險系統的高可靠性安全保障的微機電裝置，可用於武器裝備、彈藥庫、政府、銀行、金...
基本信息 內容簡介 -
表面矽MEMS加工技術
表面矽MEMS加工技術是在積體電路平面工藝基礎上發展起來的一種MEMS工藝技術。它利用矽平面上不同材料的順序澱積和選擇腐蝕來形成各種微結構。
基本思路 關鍵工藝技術 工藝集成 工藝發展趨勢 -
基於COMSOL Multiphysics的MEMS建模及套用
Multiphysies有限元軟體建立MEMS模型的基本方法和過程，並輔以典型MEMS建模實例，圖文並茂。 全書共分5章，第1章概述了MEMS基本概念和...
內容介紹 -
基於COMSOLMultiphysics的MEMS建模及套用
本書由淺入深、圖文並茂方式講述comsol multiphysies有限元軟體建立mems模型的基本方法和過程，並輔以典型mems建模實例，書中引用的模...
內容提要 目錄 -
微電子機械系統[微型機電裝置]
微電子機械系統（Micro-Electro-Mechanical-Systems, MEMS）是指大小在毫米量級以下，構成單元尺寸在微米、納米量級的可控...
百科名片 發展歷程 特點 -
陀螺儀[角運動檢測裝置]
陀螺儀是用高速迴轉體的動量矩敏感殼體相對慣性空間繞正交於自轉軸的一個或二個軸的角運動檢測裝置。利用其他原理製成的角運動檢測裝置起同樣功能的也稱陀螺儀。
裝置介紹 均衡陀 功能分類 現代儀器 用途 -
胎壓監測裝置
胎壓監測裝置是簡單一點的胎壓監測系統，是利用ABS現成的感測功能來比較輪胎的旋轉圈數，胎壓不足的輪胎圓周長也變短，所以四隻輪胎有一隻胎壓不足的話，行駛時...
功能特徵 品牌 感測器 -
微機電系統
工藝在一矽片上可同時製造成百上千個微型機電裝置或完整的MEMS。使MEMS...概念解析 微機電系統 MEMS全稱Micro...裝置，其內部結構一般在微米甚至納米量級，是一個獨立的智慧型系統。主要由感測器...
概念解析 發展歷史 系統優點 系統特點 主要分類
