簡介
MCVD工藝中的基本設備是玻璃車床、供料系統和廢氣處理裝置,如下圖所示。
玻璃車床並不是特殊車床,但是為了防止沉積和熔縮成棒過程中石英玻璃管變形,兩個卡盤應該同心,以確保中心偏差小於0.05mm。車床上裝有一個載著氫氧噴燈恆速運動的拖板,若能安裝一個輻射高溫計和外徑控制儀則更好,它們隨噴燈一起運動,可分別用來測量熱區溫度和石英玻璃管的外徑。以來自輻射溫度計的信號控制氫氣和氧氣的流速,從而能夠達到保持加熱區的溫度恆定的目的。
玻璃燈工車床
玻璃燈工車床(glass work lathe)製造光纖預製件的主要設備。玻璃燈工車床也泛指對玻璃製品進行焊接或其他熱加工的特殊車床。與普通機械加工車床不同之處在於具有可以夾持石英管同步旋轉的夾盤和可來回移動的火焰燈具。旋轉運動與往復運動都可以微調,各部分尺寸精度較高,光纖預製熔煉車床一般都帶有測徑感測器、石英管幾何尺寸控制器及供氣流量控制等精密部件。
供氣系統
金屬鹵化物,如SiCl、GeCl、POCl、BCI等蒸氣混合物與高純O一起作為製造石英系玻璃的原料,氫氣和氧氣被用來加熱石英玻璃管。供氣系統主要作用是精確地控制上述蒸氣混合物和氣體的流速。每個沉積層的鹵化物蒸氣混合比應該按程式設定值加以控制,而燃燒氣體則是通過來自測量石英玻璃管表面溫度的輻射溫度計的信號進行控制的。
淨化系統
石英玻璃的廢氣中含有細小的玻璃粒子和氯氣,所以在排入大氣之前必須除去這些有害物質。
淨化系統由粉末收集器、水噴淋器和流量控制閥所組成。首先由粉末收集器清除廢氣中的細冷玻璃粒子,然後用含有NaoH的鹼溶液噴淋以中和廢氣中的Cl和HCI。這樣,廢氣就得到了淨化。廢氣的流量是由一個隨來控制的,因此由傳藤器測量的反應管壓力能保持恆定。