ESD耗散結構部件

一種包括襯底層和沉積在襯底上的陶瓷層的結構部件。該陶瓷層由陶瓷靜電放電耗散材料組成且具有103至約1011歐姆-厘米範圍內的電阻率。

概述

一種包括襯底層和沉積在襯底上的陶瓷層的結構部件。該陶瓷層由陶瓷靜電放電耗散材料組成且具有103至約1011歐姆-厘米範圍內的電阻率
權利要求 】 一種結構部件,包括 襯底;和 沉積在所述襯底上的陶瓷層,所述陶瓷層包括陶瓷靜電放電耗散材料且具有約103至約1011歐姆-厘米範圍內的電阻率。

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