簡介
AlN = Aluminum nitride 氮化鋁描述
氮化鋁(AlN)是一種具有六方纖鋅礦結構的共價晶體,純氮化鋁呈藍白色,通常為灰色或灰白色。晶格常數a=3.110Å,c=4.978Å,Al原子與相鄰的N原子形成歧變的【AlN4】四面體,沿c軸方向Al—N鍵長為1.917Å,另外三個方向的Al—N鍵長為1.885Å,AlN的理論密度為3.26g/cm3。常壓下在2450℃升華分解。AlN材料具有:(1)熱導率高(約270W/m•K),接近BeO和SiC,是Al2O3的5倍以上;(2)熱膨脹係數(4.5×10-6℃)與Si(3.5~4×10-6℃)和GaAs(6×10-6℃)匹配;(3)各種電性能(介電常數、介質損耗、體電阻率、介電強度)優良;(4)機械性能好,抗折強度高於Al2O3和BeO陶瓷,可以常壓燒結;楊氏模量值約為310GPa,,泊松比v=0.2+(-)0.02(5)純度高;(6)光傳輸特性好;(7)無毒;(8)可採用流延工藝製作。是一種很有前途的高功率積體電路基片和包裝材料。