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ATE是AutomaticTestEquipment(自動化測試設備)的英文縮寫，是一種通過計算機控制進行器件、電路板和子系統等測試的設備。通過計算機編程取代人工勞動，自動化的完成測試序列。
ATE在60年代早期始於快捷半導體（Fairchild）。那時Fairchild生產門電路器件（如14管腳雙列直插與非門IC）和簡單的模擬積體電路器件（如6管腳雙列直插運算放大器）。當時對於器件量產測試是一個很大的問題。Fairchild開發了計算機控制的測試設備，如5000C用於簡單模擬器件測試，Sentry200用於簡單門電路器件測試。兩種機器都是由Fairchild自主開發的計算機FST2進行控制。FST2是一種簡單的24位，10MHz計算機。70年代早期，器件開發由小規模積體電路過渡到中規模積體電路，又於80年代早期從大規模積體電路過渡到超大規模積體電路。對於器件製造商來說，這時計算機控制的測試系統已經成為主要的測試設備。Fairchild開發了Sentry400,Sentry600,Sentry7,Sentry8測試系統用於數字器件測試。80年代中期，門陣列器件開發成功，測試方面要求達到256管腳，速度高於40MHz。針對這一需求，Fairchild試圖開發Sentry50，但是失敗了。Fairchild將其ATE部門賣給斯倫貝謝，成為斯倫貝謝測試系統公司。
Fairchild將測試系統賣給斯倫貝謝以後，許多專家離開了Fairchild加入Genrad，成立了Genrad西海岸系統公司。GR16和GR18數字測試系統由這裡誕生了。這些新型的測試系統每個管腳有獨立的測試資源，管腳數最多達144。不久這些工程師離開Ganrad成立了Trillium測試系統，並將其賣給LTX。之後這些工程師又離開了LTX，他們中的一些加入了科利登（Credence），其它人加入了其他的ATE公司。同一時期，泰瑞達的自動化測試設備在模擬測試和存儲器測試方面占據統治地位。90年代早期Intel開發成功高速、高管腳數的單片處理器單元（MPU），隨之而來的是高速高管腳數的ATE。多媒體器件的出現使ATE變得更複雜，需要同時具有數字電路、模擬電路和存儲器電路的測試能力，SoC測試系統應運而生。
目前器件速度已經達到1.6GHz，管腳數達到1024，所有的電路都集成到單個晶片。因此出現了真正系統級晶片測試的需求。ATE可以由帶一定記憶體深度的一組通道，一系列時序發生器及多個電源組成。這些資源是通過負載板把信號激勵到晶片插座上的晶片管腳。
ATE可分為以下幾種類型：
*數字測試系統——共享資源測試系統，每個管腳有獨立測試資源的測試系統。用來特性化測試積體電路的邏輯功能。如科利登的SC312和Quartet。
*線性器件測試系統——用來測試線性積體電路的測試系統。
*模擬測試系統——用來特性化測試積體電路的模擬功能。如科利登的ASL系列。
*存儲器測試系統－DRAM測試系統，快閃記憶體測試系統。這些類型的自動化測試設備用於驗證記憶體晶片。如科利登的PersonalKalos和Kalos系列，Agilent的Versatest系列，Advantest的T5593。
*板測試系統－板測試是用來測試整塊印製電路板，而不是針對單個積體電路。如泰瑞達的1800。
*混合信號測試系統——這種類型的系統資源用來測試積體電路的模擬及數字功能。如科利登的Quartet系列。
*RF測試系統——用來測試射頻積體電路的測試。如科利登的ASL3000RF和SZ-Falcon。
*SOC測試系統——通常就是一個昂貴的混合信號積體電路測試系統，用來測試超大規模積體電路（VLSI）晶片；並且這種超大規模積體電路（VLSI）晶片的集成度比傳統的混合信號晶片高得多。如科利登的Octet系列，Agilent的93000系列，Advantest的T6673。
ATE開發是從簡單器件、低管腳數、低速測試系統（10MHz,64pins）到中等數量管腳、中速測試系統（40MHz,256pins）到高管腳數、高速（超過100MHz,1024pins）並最終過渡到現在的SoC測試系統（1024pin,超過400MHz，並具備模擬、存儲器測試能力）。
未來的測試系統測試速度將超過1.6GHz，時序精度在幾百納秒範圍內，並將數字、模擬、存儲器和RF測試能力集成於一台測試系統。這樣一台測試系統的成本將非常高，因此需要使用一台或多台測試工作檯進行並行的器件測試。為了降低測試成本，晶片中將加入自測試電路。同時基於減少測試系統成本的考慮，模組化的測試系統將取代通用的測試系統。
