供高頻 (100千赫以上)感應加熱用的電源設備。其加熱原理同靜止式中頻加熱電源。用於對導體進行感應加熱的高頻電源，其工作頻率大致在0.1～5.0兆赫範圍內。其中0.1～0.2兆赫的電源多用於熔煉導體金屬，如銀、金、鉑等；0.3～0.5兆赫的電源用於鍺、矽及化合物半導體的有坩堝拉晶，以及黑色、有色及稀有金屬的焊接、氣體分析、熱處理等工藝；1～5兆赫的電源用於矽的無坩堝區熔拉晶。 5兆赫以上電源大都用於電介質加熱。這種加熱方式是利用電介質在高頻電場作用下極化了的分子來回扭轉所產生的摩擦熱。它適用於潮濕木材和紙張的乾燥，塑膠的加熱成形或焊接等。
到20世紀80年代，限於工作頻率較高的固體器件功率較小，工業用高頻加熱電源大都仍採用電子管式高頻振盪器。它由振盪管、LC負載振盪迴路、直流電源和反饋迴路等組成。從套用觀點出發，它要求電路簡單，容易起振，輸出功率大，效率高；而對電流波形和頻率的穩定性要求不高。因此大多採用自激的電感三點式和變壓器反饋式振盪器；在介質加熱電源設備中，常用推挽式電路，以提高高頻電壓，加大電場強度，增進介質加熱效果。
目前高頻加熱電源的整機效率很低，一般不足50％。加熱電源的工作頻率與LC負載振盪迴路的諧振頻率的自動跟蹤、高頻電流的高效傳輸、新導磁材料的套用等是提高這類電源效率的途徑。
隨著電子工業的發展，新型的特高頻大功率振盪管不斷湧現。80年代初，輸出功率50千瓦、頻率1000兆赫的磁控管已用於介質加熱。採用磁控管已能使振盪管頻率達 10000兆赫（波長為30厘米）。利用波長在幾厘米以下的行波管、微波管，實現了微波加熱。
特點
1、設備採用IGBT模組，節能省電：比電子管式省電30%，比可控矽中頻省電20%；
2、感應加熱，無氧化層，變形小；
3、重量輕，移動安裝都方便；
4、沒有污染、噪聲和粉塵；
5、設有過壓、過流、過熱、缺水等報警指示，並自動控制和保護。
6、加熱非常均勻(也可通過調節感應圈的疏密，使工件各部位獲得各自需要的溫度)，升溫快，氧化層少，退火後無廢品;
7、溫度及加熱時間可精確控制，加工質量高。
8、適應性強：能加熱各種各樣的工件；
