高純鎢

高純鎢，純度達到99.999%和99.9999%，各種雜質元素含量應在(0.1～1000)×10-12之間。主要用於超大規模積體電路作為電阻層、擴散阻擋層等。

high-purity tungsten
分子式：W
性質：純度達到99.999%和99.9999%，記為5N和6N的純鎢。它的各種雜質元素含量應在(0.1～1000)×10-12之間，對於某些雜質元素的含量，如放射性元素、鹼金屬元素、重金屬元素和氣體元素等還分別有特殊的要求。高純鎢及其矽化物用於超大規模積體電路作為電阻層、擴散阻擋層等以及在金屬氧化物半導體型電晶體中作為門材料及連線材料等。