人物經歷
2000年-2003年攻讀博士學位期間主要從事微諧振器理論和套用技術的研究工作。
浙江省151人才、感測技術國家重點實驗室客座研究人員。
研究方向
微型感測器、微電子機械系統（MEMS）。
主要貢獻
研製出了電熱激勵/壓阻檢測的微懸臂樑、橋和方膜片諧振器，利用所研製的懸臂樑和橋諧振器製作諧振式壓力感測器、壓控振盪器、溫度感測器和微機械濾波器等多種感測器和電子器件。在感測技術國家重點實驗室做博士後期間利用掩膜-無掩膜腐蝕技術實現了原子力顯微鏡(AFM)探針的懸臂樑與納米針尖同時成型，研製出具有自主智慧財產權的原子力顯微鏡探針，成品率達到80%以上。2009年研製出國內首枚薄膜熱電變換器。自2000年以來以第一作者或通訊作者發表在<<J. Micromech. Microeng>>、<<Sensors and Actuators>>、<< Solid State Electron>>、<<IEEE Sensors>>、<<Science in China>>等國內外著名期刊上發表科研論文40餘篇(其中SCI檢索8篇，EI檢索11篇)，作為第一申請人和主要成員申請國家專利11項(已授權7項)。
在研課題
1. 國家自然科學基金面上項目─微機械諧振式紅外感測器理論及製作工藝研究(編號: 61076110)，30萬。
2.感測技術國家重點實驗室開放課題1項。
3. 中央與地方財政共建實驗室，微機械感測器實驗室，200萬。
科研項目
1. 利用 SOI 矽片製作 AFM 納機電探針的製造技術。中國博士後，基金2萬。
2. 浙江省“重中之重”學科建設經費，240萬。
3. 利用無掩膜腐蝕技術製作重摻雜導電探針的關鍵技術研究。中國科學院王寬誠博士後，基金1萬。
4. 低溫漂諧振式微懸臂樑感測器研製，中國計量學院啟動經費，4 萬。
5．微量程諧振式微壓感測器的研製，中國計量學院123人才計畫， 8萬。
6. 多元熱電變換器研製，計量研究院橫向課題，7萬。
7. 浙江省自然科學基金，基於橋諧振器的新型紅外探測器理論及關鍵技術研究，8萬。
