離子濺射法

離子濺射法，真空容器內，在高壓1500V的作用下，殘留的氣體分子被電離，形成電漿，陽離子在電場加速下轟擊金屬鈀，使金屬原子濺射到樣品的表面，形成導電膜。

基本資料

真空容器內，在高壓1500V的作用下，殘留的氣體分子被電離，形成電漿，陽離子在電場加速下轟擊金屬鈀，使金屬原子濺射到樣品的表面，形成導電膜。