離子束物理

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內容介紹
離子束

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基本介紹主要參數其他特點
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聚焦離子束(Focused Ion beam, FIB)是一種利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的顯微切割儀器。
基本信息工作原理基本功能曝光技術

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