簡歷
從碩士研究生開始即從事新型X射線光刻膠及下一代光刻技術工藝的研究,碩士論文題目為《新型X射線光刻膠的研製》,博士論文題目為《利用同步輻射的微細加工技術》,在同步輻射(X射線)光刻及微細加工領域作過多年套用技術研究,作為主要骨幹參加如下重大國家科技攻關項目:
獲獎及榮譽
2003年“0.1-0.35微米積體電路關鍵技術研究”獲北京市科技進步一等獎
承擔科研項目情況
(1)“九五”國家重點科技攻關項目97-762“0.1-0.35微米積體電路關鍵技術研究”的子專題97-762-03 “先進的深亞微米工藝技術”;
(2)科學院重大創新方向性項目“電子束縮小投影光刻機(SCALPEL)”的子課題“投影電子束掩模研製”;
(3)科技部863項目“多感測器及陣列感測器集成”;
(4)科技部863項目“無掩模光刻系統”;
(5)科技部863項目;
(6)自然基金儀器專項“新型光學讀出非製冷紅外成像系統”;
(7)自然基金“懸臂樑微尖端陣列器件加工及套用技術研究”;
(8)中科院知識創新方向性項目;