陳大鵬[中國科學院陳大鵬]

陳大鵬[中國科學院陳大鵬]

1968年10月出生,1990年畢業於合肥工業大學化學系高分子專業,1995年於中國科學技術大學獲高分子化學理學碩士學位,2000年於中國科學技術大學獲核技術及套用工學博士學位。研究領域為微細加工技術。

基本信息

簡歷

從碩士研究生開始即從事新型X射線光刻膠及下一代光刻技術工藝的研究,碩士論文題目為《新型X射線光刻膠的研製》,博士論文題目為《利用同步輻射的微細加工技術》,在同步輻射(X射線)光刻及微細加工領域作過多年套用技術研究,作為主要骨幹參加如下重大國家科技攻關項目:

獲獎及榮譽

2003年“0.1-0.35微米積體電路關鍵技術研究”獲北京市科技進步一等獎

承擔科研項目情況

(1)“九五”國家重點科技攻關項目97-762“0.1-0.35微米積體電路關鍵技術研究”的子專題97-762-03 “先進的深亞微米工藝技術”;

(2)科學院重大創新方向性項目“電子束縮小投影光刻機(SCALPEL)”的子課題“投影電子束掩模研製”;

(3)科技部863項目“多感測器及陣列感測器集成”;

(4)科技部863項目“無掩模光刻系統”;

(5)科技部863項目;

(6)自然基金儀器專項“新型光學讀出非製冷紅外成像系統”;

(7)自然基金“懸臂樑微尖端陣列器件加工及套用技術研究”;

(8)中科院知識創新方向性項目;

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