陰極發光（Cathodoluminescence）（1);當電子照射到發光體上，如磷之類，該物體可發射出波長在可見光頻段的光。稱為陰極發光。比較熟悉的這種例就是電子束在內層鍍有磷的陰極射線管電視螢幕上掃描。陰極發光是光電效應的逆效應；即物體受到光的作用而發射電子。
高能電子束射到半導體上，使電子從價帶提升到導帶，而形成空穴。當電子和空穴重新結合時，就可能發射一個光子。這與材料的純度和缺陷有關；
地質學，礦物學，材料科學和半導體工程，使用特別的光接受器的掃描電子顯微鏡或光陰極發光顯微鏡(1)，可以試驗半導體，岩石，陶瓷，玻璃等的內部結構。
最近，電子顯微鏡的陰極發光功能被用來研究金屬納米顆粒表面等離激元共振(2)。由於表面等離激元，金屬鈉米顆粒可吸收和發射可見光。
帶有陰極發光接收器的電子顯微鏡的放大倍數和解析度都比沒有接收器的複雜和貴，但有些系統仍然配備這種接收器。
參考文獻
（1）Zagolnel et al.,Nanometer Scale Spectral Imaging of Quantum Emitters in Nanowires and its Correlatio to Their Atomically Resolved Structure, Nano Letters doi;10.1021/nl103549t
(2)"Optical excitations in electron microscopy.F.J. Garcia de Abajo. Reviews of Modern Physics 82,209-275(2010).
