郭立萍

郭立萍

郭立萍,畢業於曲阜師範大學、煙臺大學,現任山東理工大學理學院講師。

基本信息

人物經歷

1995-1999:曲阜師範大學,理學學士

1999-2002:煙臺大學,理學碩士

2002-2006:中科院上海光學精密機械研究所,工學博士

承擔課程
工作至今,曾講授過的課程有:《量子力學》,《力學》,《光電技術》,《大學物理》等

研究方向

主要從事光學光刻技術方面的研究。

研究項目
獲獎
學術交流

主要成就

論文、專著

[1] Liping Guo, Xiangzhao Wang, Huijie Huang. Analysis of illumination pupil filling ellipticity for CD control inphotolithography. Chinese Optics Letters, 2006, vol 4(4).

[2] Liping Guo, Huijie. Huang, Xiangzhao Wang. Exposure dose control for step-and-scan lithography. Proc. SPIE, 5645, 217-223, 2004.

[3]郭立萍王向朝黃惠傑. 照明光瞳非對稱性對光刻成像影響. 光學學報,2006 vol 26(6).

[4]郭立萍,黃惠傑,王向朝. 積分棒在步進掃描投影光刻系統中的套用. 光子學報, 2006 vol 35(7).

[5]郭立萍, 黃惠傑, 王向朝. 步進掃描投影光刻機中的曝光劑量控制技術研究. 雷射雜誌, 2004 (12).

[6]郭立萍, 黃惠傑, 王向朝. 光學光刻中的離軸照明技術. 雷射雜誌, 2005 (1).

[7]郭立萍, 王向朝. 步進掃描投影光刻機中的雜散光原位檢測方法. 發明專利No.200510024229. X.

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