透明導電膜(TCO)在太陽能電池上主要用作電池的透明電極, 有些還可同時作為減反射膜。不同透明導電膜的電學、光學以及結構等都不相同, 亦對太陽能電池的光電特性和輸出特性( 如電池的內外量子效率、短路電流、開路電壓、填充因子等) 產生不同的影響。一般, 在太陽能電池中對透明導電膜的要求是載流子濃度高、帶隙寬度大、光電特性好、化學性質穩定、較低的電阻率、機械強度高以及優良的耐磨損性等。
ITO 薄膜是一種半導體透明薄膜, 它是氧化銦錫( indium t in ox ide) 英文名稱的縮寫。有學者將氧化銦系列( In2O 22SnO 2) 也稱之為ITO 薄膜。作為透明導電電極, 要求ITO 薄膜有良好的透明性和導電性。所以, 此類材料的禁頻寬度E g 一般都大於3 eV , 其摻雜組分要偏離化學計量比。ITO 薄膜的製備方法有蒸發、濺射、反應離子鍍、化學汽相沉積、熱解噴塗等, 但使用最多的是反應磁控濺射法[ 1, 2 ]。與其它透明導電薄膜相比, ITO 薄膜具有良好的化學穩定性、熱穩定性以及良好的圖形加工特性。
。我們發現經過銫化處理的ITO 薄膜具有光電發射效應。其光電發射穩定, 有1. 71 ua/lm 的積分靈敏度, 壽命達千小時以上。這種ITO 薄膜的光電發射對於研製大面積的光電器件、平板顯示器件會有較大的促進作用。
