超淨化

中文詞條名：超淨化

英文詞條名：ultra-clean

簡稱超淨二室內或裝置內空氣潔淨度達到特定的等級標準。為此，必須用高效(或亞高效，或超高效)過濾器作為末級過濾器處理送風，並採取其他特殊措施，才能達到這一高度潔淨的程度。