螺旋波電漿

螺旋波電漿是指用螺旋波激勵的電漿稱螺旋波電漿。這種電漿具有超常的電離效率，並且是通過外電極放電,因此特別適用於各種低氣壓電漿工藝。

定義 ： 用螺旋波激勵的電漿稱螺旋波電漿。

原理：

螺旋波是一種在磁化電漿中傳播的電磁波。它沿磁場方向傳播，是圓偏振的，其迴旋方向與載流子在磁場中的迴旋方向相同。這種波使得磁力線發生擾動，變為螺旋形的線，故稱為螺旋波。螺旋波是色散的，其相速度及群速度均與頻率的平方根成正比。用螺旋波激勵的電漿稱螺旋波電漿。實驗表明，螺旋波電漿的最大密度在10Pa的壓強下可超過10cm，電離效率最高可達100%。

作用：

這種電漿具有超常的電離效率，並且是通過外電極放電，因此特別適用於各種低氣壓電漿工藝。研究表明，在所有可能在電漿中傳播的波中，螺旋波具有最佳的相速度，使電子通過朗道吸收而被迅速地加熱到最佳電離能，從而產生最大的電離密度。

用例：

1.利用螺旋波電漿增強化學氣相沉積氮化矽薄膜。

2.螺旋波高電離效率的特性很快得到了發展和套用，螺旋波激發電漿源應運而生。作為一種新的低氣壓、高密度電漿源，日本、美國、澳大利亞、韓國和瑞典等國都在對它進行研究。在這種裝置中，最突出的優點就是當螺旋波在電漿中傳播時能使大面積的電子得到加熱，電子密度高而均勻，約束磁場低。