內容介紹
《電漿電子工程學》主要講解電漿中的微觀運動，電漿的巨觀性質，氣體放電與電漿的形成，電漿的生成方法，電漿在電子、環境工程中的套用等。作者介紹
菅井秀郎編著
執筆：1～4章,6章,7章
1971年東北大學研究生院工學研究科博士畢業
1971年獲工學博士
現在名古層大學研究生院工學研究科教授
大江一行
執筆：5章
1966年名古層工業大學研究生院工學研究科碩士畢業
1975年獲工學博士
現在名古層工業大學生產系統工程專業教授
張海波..
1982年西安交通大學電子工程系畢業
1987年西安交通大學電子物理與器件專業,獲工學碩士
1995年日本大阪大學工學研究科博士研究生畢業,獲工學博士
現在西安交通大學電子科學與技術系教授,博士生導師電子與信息工程學院副院長
張丹
1999年西安交通大學電子科學與技術系畢業
現在西安交通大學電子科學與技術系碩士研究生...
作品目錄
1電漿電子工程學的學習方法.1.1電漿概述
1.2電漿的各種性質
1.3電漿的套用
1.4本書的構成
練習題
2電漿中的微觀運動
2.1單個粒子的運動
2.2粒子間的碰撞
2.3彈性碰撞中的能量損失
2.4原子的激發與電離
2.5分子的激發與離解、電離
練習題
3電漿的巨觀性質
3.1分布函式與平均量
3.2電漿基本方程
3.3電漿的電中性
3.4粒子流動與密度分布
3.5電漿鞘層
3.6能量平衡與粒子數平衡
.練習題
4氣體放電與電漿的形成
4.1氣體的絕緣擊穿——湯生的實驗和理論
4.2放電起始電壓——帕邢定律
4.3氣體放電中的電漿狀態
4.4湯生理論的局限性
練習題
5電漿的生成方法Ⅰ——直流放電
5.1各种放電方法與放電模式
5.2輝光放電與低溫電漿..
5.3電弧放電與熱電漿
5.4電暈放電與高氣壓低溫電漿
5.5磁控管放電
練習題
6電漿的生成方法Ⅱ——高頻放電、微波放電
6.1電漿生成與天線耦合
6.2平行板加RF電壓——電容耦合電漿
6.3線圈通RF電流——感應耦合電漿
6.4電漿中的波
6.5強電波照射——表面波電漿
6.6使用磁場中的波——ECR電漿和螺鏇波電漿
練習題
7電漿在電子、環境工程中的套用
7.1LSI製造工藝中的電漿刻蝕法
7.2非晶矽薄膜的電漿CVD製備法
7.3電漿顯示器件的工作原理
7.4利用電漿的環境改善技術
練習題
練習題解答
參考文獻
附錄
篇外話
“電漿”名稱的由來
原子的內部狀態和光譜標記
朗繆爾探針
流注的形成
表面磁場對電漿的約束作用
朗道衰減與迴旋衰減
用強光生成電漿...
