蓋德於1915年製成擴散泵，1916年經I.朗繆爾改進，套用擴散泵能獲得10□帕的真空。擴散泵最初用汞,爾後用油作泵液,但油擴散泵的油蒸氣反向流入被抽器件,會造成表面油污染。為此，真空系統常用一種無油的濺散離子泵。1937年F.M.潘寧觀察到用磁場局限的直流放電具有抽氣效應；但到1958年，L.D.霍耳才將幾個潘寧室組合成實用的離子泵。
簡介
是一項日趨重要的技術，其原理是利用超低溫時的凝結和吸附來排氣，其特點是排氣表面位於排氣室中,抽速不受排氣管的限制,抽速要求越大越能顯示低溫泵的優點。低溫泵很容易得到1000米□/秒的抽速。1961年美國的R.金等人提出一種實用的低溫排氣系統。
套用電子碰撞氣體產生離子流，用離子流來量測真空度，是高真空測量的基本原理。1916年，O.E.布克來研製出能測10□帕真空度的電離真空規。1947年,W.B.諾丁漢指出上限是由於X射線產生的光電子。1950年，R.T.貝亞得及D.阿爾波特將收集極的圓筒改為細線，以減少截獲X射線而能測到10□帕。真空電子材料及工藝 從愛迪生髮現熱電子源後，需要有在高真空中耐高溫工作的材料。1903年A.威耐爾特發現鹼土金屬的氧化物,能在1100K下有顯著的發射電子能力,並於1906年用氧化物陰極裝入整流管內。1909年，W.D.庫利吉用粉末冶金法製取純鎢絲陰極,但需2300K高溫才能發射電子。1934年，朗繆爾研製釷鎢絲（鎢中摻入0.5％～2％的釷）陰極,可將陰極溫度降至2000K左右。由於陰極在高溫工作時表面有蒸發及濺散損失，為了彌補這種損失，1950年 H.J.萊門斯等提出儲存式的L陰極，其結構是發射面為多孔的鎢表面。鎢表面下有鋇鍶碳酸物的儲存。
在大功率廣播發射管發展初期，須用無氧銅陽極與玻璃封接。1923年,W.G.豪斯基伯研究刀口封接方法。銅的薄刀口具有塑性流動，消除了銅與玻璃膨脹係數不匹配所引起的應力。1930年，H.斯高特研究能與硬玻璃封接的低膨脹係數的鐵鎳鈷合金(可伐合金)。
