內容簡介
本書著重討論了薄膜的功能特性(例如，光學、電子、電學特性等)，同時介紹了
納米結構的薄膜和塗層相應的器件及套用。
本書首先介紹功能薄膜大尺度製作與加工的化學途徑，納米複合材料薄膜的製作與表征。其次講解了低維納米複合材料的製作及其套用，矽納米晶的光學和光電子學特性。最後介紹了可控微\/納米結構薄膜和器件，微系統套用的薄膜形狀記憶合金等內容。
本書內容十分全面，不僅包含適合新入門者的對於細節的解釋，也包括適合專家的最新前沿研究進展及資料。書中涵蓋寬廣範圍的機械及功能技術，包括其在清潔能源領域的套用，這有助於研究並便於專業人員對這一迅速發展的領域有全面的了解和把握。本書由(新加坡)張薩姆(Sam Zhang)著，
目錄
前言
編者
貢獻者
1 利用化學途徑藉由納米構築實現功能薄膜的大尺度製作與加工
2 SiC納米結構\/納米複合材料薄膜的製備和表征
3 低維納米複合材料的製備和套用
4 嵌入Si02基體中的矽納米晶的光學和光電子學特性
5 嵌入非晶態Si02薄膜中的矽納米晶的電學性能
6 溶膠凝膠法得到的納米結構薄膜的性質和套用：光學領域
7 可控微\/納米結構薄膜和器件
8 微系統套用的薄膜形狀記憶合金
索引
