空心陰極離子鍍

空心陰極離子鍍HCDhollowcathodedischargedeposition：利用空心陰極發射大量的電子束，使坩堝內鍍膜材料蒸發並電離，在基片上的負偏壓作用下，離子具有較大能量，沉積在基片表面上的一種鍍膜方法。