有些元素的發射譜線在遠紫外區。
鹵素、碳、硫、磷等用光譜分析時就需要在近真空條件下進行。
真空火花光源是在氣氛壓力極低的情況下激發放電,用在真空紫外光譜區域中的光譜學研究。
它可激發高激發電位元素譜線和一般元素的高次離子譜線。
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