隋大業三年（607）屬京兆郡。唐武德三年（620），盩厔屬稷州。貞觀元年（627）廢除稷州，盩厔縣同屬雍州。貞觀八年（634），復置稷州，盩厔又屬稷州。大足元年（701），撤銷稷州，盩厔又屬雍州。天寶元年（742），更名盩厔為宜壽縣，屬雍州。至德三年（758），改宜壽縣為盩厔縣，屬京兆府。乾寧二年（895 ），盩厔屬乾州。天復元年（901），盩厔改屬鳳翔府。
五代（907～960），梁時盩厔屬大安府。 唐光和元年（923）屬京兆府。同光三年（925），改屬鳳翔府。宋大觀元年（1101），屬京兆府。金代（1127～1234），盩厔屬鳳翔府。元屬奉元路。明洪武九年（1376），屬西安府。清因之。
民國三年（1914），盩厔屬關中道。 民國十六年（1927）廢道，盩厔屬陝西省直轄。 民國二十六年（1937）陝西省下設行政督察區，盩厔屬第九行政督察區（區治設寶雞）管轄。 民國三十六年（1947），盩厔改屬第十行政督察區（區治設鹹陽）管轄。
1949年5月30日周至解放後，盩厔縣屬陝甘寧邊區鹹陽分區。1950年10月，盩厔屬於鹹陽專區。1953年元月，盩厔改屬寶雞專區。1956年，撤銷關中各專區，盩厔直屬陝西省。 1961年，恢復鹹陽專區，盩厔縣歸其屬， 1964年9月10日，陝西省人民委員會通知、經國務院批准，將“盩厔縣改為周至縣”。仍屬鹹陽專區。
