人物介紹
一、個人基本情況 華中科技大學教授。1987在天津南開大學物理系取得學士學位，1990年在北京工業大學套用物理系取得碩士學位。1992年到2002年，先後在北京、深圳以及武漢工作並從事光電領域研究。2003年6月調入華中科技大學機械科學與工程學院以及武漢光電國家實驗室成為副教授，同時開始攻讀博士學位。於2008年被授予物理電子學博士學位，2010年成為教授。目前主要從事計算物理、MEMS/NEMS系統設計及仿真、MEMS製造工藝與設備、
半導體工藝設備設計與製造等研究。
近幾年發表的主要文章：
1、Zhiyin Gan, Dexiu Huang, Xuefang Wang, Dong Lin, Sheng Liu. “Getter free vacuum packaging for MEMS”, Sensors and Actuators A: Physical, 149(1), 2009: 159 ~ 164.
2、Tingkai Zhang, Honghai Zhang, Jian Xu, Sheng Liu,Zhiyin Gan.“Study on triple-stack anodic bonding using two electrodes”,Sensors and Actuators A: Physical, 157(1), 2010: 168 ~ 172.
3、 Hui Cao,Zhiyin Gan, Qiang Lv, Han Yan, Xiaobin Luo, Xiaohui Song and Sheng Liu. “Single-walled carbon nanotube network/poly composite thin film for flow sensor”, Microsystem Technologies, 16(6), 2010: 955 ~ 959.
4、C. MingXiang, Y. Xingjian,G. Zhiyinand L. Sheng. "Reliability of AnodicallybondedSilicon－glass Packages", Sensors and Actuators, 120(1), 2005: 291 ~ 295.
5、Song X. H.,Gan Z. Y., Liu S., Yan H., and Lv Q. (2009), “Computational study of thermocompression bonding of carbon nanotubes to metallic substrates,” Journal of Applied Physics 106:104308.
6、Song X. H.,Gan Z. Y., Liu S., Yan H., and Lv Q. (2009), “Controllable fabrication of carbon nanotube-polymer hybrid thin film for strain sensing,” Microelectronic Engineering 86:2330-2333.
7、Song X. H., Liu S., Yan H., andGan Z. Y., (2009), “First-principles study on effects of mechanical deformation on outer surface reactivity of carbon nanotubes,” Physica E 41:626-630
8、Wang, P.,Gan, Z. Y.and Liu, S. (2009), “Improved light extraction of GaN-based light-emitting diodes with surface-patterned ITO,” Optics & Laser Technology 41: 823-826.
9、Gan, Z. Y., Yan, H., Song, X. H., Lv, Q., Cao, H., Xu, J. P., Liu, S. (2009) “Application of Car-Parrinello Molecular Dynamics to Ga-rich GaN Buffer Layer for Stress Relaxation in GaN Grown Layer,” International Journal of Nonlinear Sciences and Numerical Simulation.10(5): 557-562.
10、Yan, H.,Gan, Z. Y., Song, X. H., Chen, Z. H., Xu, J. P., Liu,S. (2009) , “Adsorption configuration of magnesium on wurtzitegalliumnitride surface using first-principles calculations,” Physica B 404:3594-3597.
11Yan, H.,Gan, Z. Y., Song, X. H., Lv, Q., Xu, J. P., Liu, S. (2009), “Car-Parrinello simulation of initial growth stage of gallium nitride on carbon nanotube,” Physica E 41:1143~1146 .
二、主要研究方向
研究方向一：微納材料與器件設計與仿真
（1）器件多物理場、多尺度行為分析與建模；
（2）微納光機電系統設計與製造；
研究方向二：半導體工藝裝備設計與製造
（1）半導體工藝過程的建模仿真研究；
（2）面向工藝的裝備設計；
三、近年主持的主要科研項目
| 序號 | 項目名稱 | 項目性質及來源 | 項目年月 |
| 1 | 新型MOCVD反應腔設計，LED缺陷抑制及其量子效率調控 | 973項目子課題 | 2011.11-2016.11 |
| 2 | 基於定向生長CNT電磁對準的感應熱壓鍵合技術研究51075171 | 國家自然科學基金面上項目 | 2010.8 |
| 3 | 半導體照明用生產型MOCVD設備的自主研製 | 廣東省科技廳粵港重點項目 | 2009.10 |
| 4 | 面向跨微納尺度MEMS設計的建模仿真平台研究2007AA04Z348 | 863先進制造領域 | 2007 |
| 5 | 100lm/W 功率型白光LED 研究和產業化2008AA03A184 | 863先進制造領域 | 2008 |
| 6 | 基於MEMS技術的微型原子鐘研製 | 863先進制造領域 | 2006 |
