潔淨氣體管路的材質則依使用的需求進行選擇,316L BA管常使用於和晶片接觸但不參與過程反應的氣體。管內表面粗糙度是衡量管材質量的標準。粗糙度越低,其顆粒攜帶可能性大大降低。
潔淨氣體管道在不鏽鋼熔煉製材過程中,每噸可吸收大約200g的氣體。不鏽鋼材加工完畢,不僅其表面粘有各種污染物,而且在其金屬晶格內也吸留有一定量的氣體。當管路中有氣流通過時,金屬所吸留的這部分氣體會重新進入氣流中,污染純淨氣體。當管內氣流為不連續流動時,
管材對所通過的氣體形成壓力下吸附,氣流停止通過時,管材所吸附的氣體又形成降壓解析,而解析的氣體同樣作為雜質進入管內純淨氣體中。同時,吸附、解析周而復始,使得管材內表面金屬也會產生一定的粉末,這種金屬粉塵粒子同樣污染管內純淨的氣體。管材的這一特性至關重要,為了確保輸送的氣體的純淨度,不僅要求管材內表面有一個極高的光滑度,而且,應當具有很高的耐磨特性。
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