渦輪分子泵 (Turbo molecular pump)
正文
定義
利用高速鏇轉的動葉輪將動量傳給氣體分子,使氣體產生定向流動而抽氣的真空泵。渦輪分子泵的優點是啟動快,能抗各種射線的照射,耐大氣衝擊,無氣體存儲和解吸效應,無油蒸氣污染或污染很少,能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用於高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器和高級電子器件製造等方面。結構和工作原理
1958年,聯邦德國的W.貝克首次提出有實用價值的渦輪分子泵,以後相繼出現了各種不同結構的分子泵,主要有立式和臥式兩種,圖1為立式渦輪分子泵的結構圖。渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉子(即動葉輪)、靜葉輪和驅動系統等組成。動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度(一般為150~400米/秒)。單個葉輪的壓縮比很小,渦輪分子泵要由十多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替排列。動、靜葉輪幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。圖2為20個動葉輪組成的整體式轉子。每兩個動葉輪之間裝一個靜葉輪。靜葉輪外緣用環固定並使動、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙,動葉輪可在靜葉輪間自由鏇轉。
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