行政區劃
地處山東省東南部，西接兗州府，北依青州府，南靠徐州府，東臨黃海，治所在今臨沂城。
州縣
沂州府圖文志1領州1:莒州，縣6:蘭山縣、郯城縣、費縣、沂水縣、蒙陰縣、日照縣。
是時，今蘭陵縣分屬臨沂、郯城，今平邑屬費縣，今臨沭分屬臨沂、郯城，今沂源縣分屬沂水、蒙陰，今沂南分屬沂水、臨沂，今莒南屬莒縣，五蓮分屬莒縣、諸城、日照。
沿革
沂州府圖文志2清初沿明制，沂州為兗州府屬州，不設附郭縣。轄郯城、費縣。
1724年(雍正二年)，升為山東省直隸州。
1734年(雍正十二年)，升為沂州府，置附郭蘭山縣。同時，降莒州為散州，並以莒州及其原轄沂水、日照、蒙陰3縣來屬。共轄1州6縣1衛，即：莒州、蘭山(原為沂州直轄區域，1734年置縣，為沂州府附郭縣，治所在今臨沂城)、郯城、費縣、沂水、蒙陰、日照、安東衛。
沂州府衙門
職能機構
沂州府設行政長官知府1人，為正印官，掌一府政令，官秩從四品。除知府外，沂州府尚設如下職官：
沂郯海贛通判1人(駐大興)，為正六品，專管河務；
鹽捕水利通判1人，為正六品，分管稽查鹽務、水利等事務；
經歷1人，為正八品，掌本府收發文書；
教授1人，為正七品，該職系學官，管理府學事務。
知府的辦事機構稱知府衙門，沂州府知府衙門由府堂和經歷司等組成。府堂是知府衙門內一個綜合性的辦事機構，直接為知府服務，內置典吏若干人，按吏、戶、禮、兵、刑、工六房辦事；經歷司是知府衙門內掌管出納文移諸事的機構。
除上述知府衙門內的辦事機構外，還設有下列所屬機構：
一是陰陽學，設正科1人，品秩未入流，是府的陰陽官，兼轄星學。
二是醫學，設正科1人，品秩未入流，是府屬的醫官。
三是僧綱司，設都綱1人，秩從九品；副都綱1人，品秩未入流，是府內管理僧人的官員。
四是道紀司，設都紀1人，秩從九品；副都紀1人，品秩未入流，是府內管理道士的官員。
以上機構各設典吏若干人，攢典1人。
各州、縣設知州、知縣執掌一州、一縣之政。
沂州知府
| 姓名 | 籍貫 | 任職時間 | 備註 |
| 熊遇泰 | 江西新建 | 清道光九年十二月 | 進士 |
| 陳晉恩 | 江西新城 | 清道光二十一年九月 | 附監 |
| 花詠春 | 貴州貴築 | 清道光二十七年八月 | 進士 |
| 恩錫 | 滿州正黃旗 | 清道光二十九年四月 | 蔭生 |
| 西拉那 | 滿州正白旗 | 清道光三十年四月 | |
| 李維醇 | 順天大興 | 清鹹豐二年十一月 | 進士 |
| 孫家良 | 安徽壽州 | 清鹹豐四年八月 | 進士 |
| 葛之鏞 | 湖南善化 | 清鹹豐六年正月 | 舉人 |
| 成善 | 滿洲正白旗 | 清鹹豐六年七月 | 舉人 |
| 文彬 | 滿洲正白旗 | 清同治元年四月 | 進士 |
| 長賡 | 漢軍正黃旗 | 清同治四年十月 | 舉人 |
| 豫山 | 滿洲正黃旗 | 清同治七年六月 | 監生 |
| 崧駿 | 滿洲鑲藍旗 | 清同治十年八月 | 監生 |
| 黃大鶴 | 陝西大荔 | 清光緒元年六月 | 進士 |
| 錫恩 | 滿洲正白旗 | 清光緒三年七月 | |
| 錫良 | 蒙古鑲藍旗 | 蒙古鑲藍旗 | 進士 |
| 丁立均 | 江蘇丹徒 | 清光緒二十二年四月 | 進士 |
| 定成 | 滿洲正黃旗 | 清光緒二十四年三月 | 進士 |
| 胡建樞 | 安徽鳳陽 | 清光緒二十六年二月 | 舉人 |
| 宋夢槐 | 山西平遙 | 清光緒三十年 | 舉人 |
| 武玉潤 | 河南祥符 | 清光緒三十一年 | 進士 |
| 李於鍇 | 甘肅武威 | 清光緒三十二年二月 | 進士 |
| 王鴻陸 | 直隸臨榆 | 民國元年十二月 |
註：王鴻陸所任為沂州府知事，民國2年裁府後任蘭山縣知事。
民國改制
1913年1月8日，北洋政府公布《劃一現行各省地方行政官廳組織令》、《劃一現行各道地方行政官廳組織令》和《劃一現行各縣地方行政官廳組織令》廢除了沂州府建制。其原轄各縣除日照縣劃入膠東道外，其餘6縣均劃入岱南道（1914年6月3日，岱南道改稱為濟寧道），各縣行政長官一律改稱為縣知事。
1925年10月22日，山東督辦兼省長張宗昌下令新建琅琊道，轄區即沂州府舊治全境，治所為臨沂縣。道尹駐臨沂縣。轄臨沂、日照、郯城、莒縣、沂水、費縣、蒙陰等7縣。道公署設道尹1人，內部機構設第一、二、三科，各科設科長1人，3個科共設科員10人。
1928年，琅琊道撤銷。各縣直隸于山東省。
1936年2月13日，置山東省第三區行政督察專員公署。
