李志堅[中國科學院院士]

李志堅院士，漢族，浙江寧波人，中共黨員。1951年浙江大學物理系畢業，1953 年留學前蘇聯列寧格勒大學，1958年獲物理-數學副博士學位，同年回 國在清華大學無線電電子學系任教，歷任半導體教研組主任、微電子學研究副所長、所長，1991年被選為中國科學院院士。曾任國務院學術委員會專業評議組成 員（電子學與通信）、國家教育部科技委專業組組長（電子學與通信）、中國電子學會副理事長、中國電子學會半導體專業分會副主任、清華大學學術委員會委員、 清華大學信息學院學術委員會主任。

人物經歷

李志堅

1951年畢業於浙江大學物理系。

1958年獲蘇聯列寧格勒大學物理－數學副博士學位。清華大學教授。

50年代初，在半導體薄膜光電導和光電機理研究中，提出電子晶粒間 界理論，在此基礎上研製成高信噪比PbS紅外探測器。

1959年研製成高超純多晶矽。

60年代從事矽器件研究，其中平面矽工藝及高反壓矽高頻三極體成果，促進了國內有關的研究和生產。

1977年以後主要從事大規模、超大規模集成技術及器件物理的研 究，領導、指導和直接參與了多種靜態存儲器，8位、16位高速微處理器、EEPROM 和1兆位漢字ROM等超大規模積體電路晶片的研製工作，並取得成功。同時開發出3微米和1微米成套工藝技術。

指導並發明半導體紅外高速退火技術和設備。近期的研究包括：系統晶片集成和微電子機械技術。1991當選為中國科學院院士（學部委員）。

2011年5月2日凌晨病逝。

主要貢獻

李志堅院士作為清華大學微電子所的創建人，作為微電子所最早的博士生導師，多年來培養了一批如今活躍在國內外微電子行業中的專家和學者。他指導的博士生鄒 泉波的論文獲“首屆全國優秀博士論文”，博士生馬玉濤的論文獲2003年“全國優秀博士論文”。李志堅院士不顧年事已高，不僅對自己所培養的研究生事必親 躬，而且對微電子所的教學工作也給予了細心關注。李院士一直深受師生愛戴，因他在教學工作中突出貢獻，獲得了2003年度清華大學“教書育人獎”。

人物成就

李志堅

李志堅院士五十年代進行了薄膜電導和光電導機理的研究，提出了多晶膜晶粒間電子勢壘模型。六、七十年代，對中國早期矽器件技術的發展作出了重要貢獻，八十 年代，領導研製出矽柵N溝1K、4K靜態RAM和8位、16位微處理器等電路。九十年代領導建成我國首條1微米工藝線並研製出1兆位漢字ROM等一批超大 規模積體電路（VLSI），這些成果代表了當時我國積體電路技術的先進水平。李院士倡導並參加發明的超大規模積體電路快速熱處理技術與裝置獲中國和美國專 利三項，他主持的國家重大科學基金項目——系統集成基礎技術研究取得了一批國際一流成果，曾獲得國家發明二等獎和國家科技進步二等獎各一次，部委級科技進 步一、二等獎各二次。李院士主編出版了《半導體材料矽》、《MOS大規模集成技術》、《微電子技術中的MOS物理》等書，在國內外發表了論文200餘篇。

獲獎記錄

李志堅

李志堅院士曾先後獲1979年全國勞動模範稱號，1984年國家級有突出貢獻的中青年專家稱號，1997年度陳嘉庚信息科學獎，2000年度“何梁何利” 科技進步獎。