人物簡介
機械工業儀器儀表器件標準化技術委員會(CMIF/TC17)委員,《半導體技術》理事會理事。
教育背景
1980-1984 瀋陽機電學院半導體器件專業本科畢業獲工學士學位。
1988吉林大學獲得半導體物理專業理學碩士學位。
2003-2007哈爾濱工業大學微電子學與固體電子學專業博士研究生畢業獲工學博士學位。
教研情況
主要從事半導體物理、MEMS感測技術、功率半導體器件等方面的教學與科研工作。主講本科《半導體物理》、《電晶體原理》。
摻雜濃度對多晶矽納米薄膜應變係數的影響2007-7 半導體學報
陽極鍵合電流模型的實驗研究2007-9 哈爾濱工業大學學報
多晶矽納米膜壓阻式壓力感測器研究2008 國家自然科學基金項目
多晶矽納米薄膜壓阻特性的研究2008 遼寧省科學技術基金項目
多晶矽納米薄膜耐高溫壓力感測器研究2009 遼寧省教育廳創新團隊項目
燃料電池MEMS結構晶片研製2008 國家高技術研究發展計畫項目之子課題