人物經歷
1984年畢業於南開大學物理系，獲理學學士學位；
1987年畢業於中國科學院瀋陽金屬研究所，獲工學碩士學位；
1998年畢業於復旦大學現代物理研究所，獲理學博士學位；
1994年大連理工大學三束材料改性國家重點實驗室，副教授；
1998年大連理工大學三束材料改性國家重點實驗室，教 授。
社會兼職
中國真空學會理事；
中國電工學會電子束離子束專委會委員；
遼寧省物理學會表面科學與技術專業委員會主任
三束材料改性國家重點實驗室副主任。
研究方向
薄膜生長微觀機制的原子水平上研究：主要研究低能粒子與表面的相互作用，在原子水平上揭示低能粒子所產生的薄膜表面微觀過程的變化及其演化規律對表面原子的遷移和成核、薄膜生長的微觀狀態的影響。
功能薄膜材料及其微觀狀態和巨觀性能研究：主要研究離子束輔助沉積、電漿薄膜合成和離子束薄膜合成的實驗方法、製備技術以及薄膜的微觀狀態和巨觀性能。目前主要從事光通訊薄膜材料、ZnO薄膜的合成、結構表征及光電特性研究工作。
主要貢獻
*承擔的主要科研項目有：
1．摻雜ZnO的結構穩定性及其對薄膜光電特性的影響, 國家自然科學基金面上項目， 2008.01-2010.12，項目負責人
2. 摻雜ZnO結構穩定性及相關能帶結構的基礎科學問題, 973計畫前期研究專項_2007CB616902, 2007.01-2008.12，項目負責人
3. ZnO基多層膜量子阱的量子限域效應及其對光電特性的影響, 遼寧省優秀人才計畫項目, 2007.01-2009.12，項目負責人
4. 鈾表面用離子束輔助沉積形成鋁、鈦薄膜及其動力學過程模擬研究，國家自然科學基金面上項目， 2005.01-2007.12，項目負責人
5．基於氧化物的功能薄膜合成及器件的套用基礎研究， 國家自然科學基金國際合作，2003.01-2005.12，項目負責人
6．低能粒子對表面原子成核及薄膜生長的影響， 國家自然科學基金面上項目， 2001.01-2003.12，項目負責人
7．薄膜光子集成材料的合成工藝及光學特性， 國家自然科學基金面上項目，1999.01-2001.12，項目負責人
8．低氣壓電漿功能薄膜合成的部分機理研究， 國家自然科學基金重點項目，1999.01-2002.12，子項目負責人
9．離子束輔助沉積膜的非微分AES研究， 國家自然科學基金青年項目，1992.01-1994.12，項目負責人
10．超高密度近場光存儲， 科技部重大科技專項前期預研項目，2004.07-2006.06，主要參加者
11．原子水平上的載能束薄膜合成微觀機制研究， 教育部科技重點項目，2000.01-2002.12，項目負責人
12．離子束合成光子集成器件材料的套用基礎研究， 教育部骨幹教師計畫，2000.07-2002.06，項目負責人
著作論文
先後發表學術期刊論文100餘篇，SCI收錄50餘篇，具有代表性的論文有：
16. C. W. Sun, P. Xin, C.Y. Ma, Z.W. Liu, Q. Y. Zhang, Y. Q. Wang, Z. J. Yin, S. Huang, and T. Chen Optical and electrical properties of CdxZn1-xO films grown on Si substrates by reactive radio-frequency magnetron sputtering, Appl. Phys. Lett. 89 (2006) 181923
15. C. W. Sun, P. Xin, Z. W. Liu, and Q. Y. Zhang, Room-temperature photoluminescence of ZnO/MgO multiple quantum wells on Si(001) substrates, Appl. Phys. Lett. 88 (2006) 221914
14．Z. W. Liu, C. W. Sun, J. F. Gu, and Q. Y. Zhang, Epitaxial relationship of ZnO film with Si (001) substrate and its effect on the growth morphology, Appl. Phys. Lett. 88 (2006) 251911
13. J. An，Q.Y. Zhang，Structure, morphology and nanoindentation behavior of multilayered TiN/TaN coatings，Surface & Coatings Technology 2005，200，2451 – 2458
12. Q.F.Guan, H.Zou, G.T.Zou, A.M.Wu, S.Z.Hao, J.X.Zou, Y.Qin, C dong, Q.Y.Zhang，Surface nanostructure and amorphous state of a low carbon steel induced by high-current electron beam，Surf. Coat. Technol. 2005，196，145-149
11. Duan Shuqing, Tan na and Zhang qingyu，Microstructure and photoluminescence of Er-doped SiOx films synthesized by ion beam assisted deposition，Chinese Physics 2005，14，615-619
10. Q.Y.Zhang, Y.P.Lee，Absorption and photoluminescence properties of Er-doped and Er/Yb codoped soda-silicate laser glasses，J, Appl. Phys.， 2004，96 ，4746
9. Q.Y. Zhang, W.J. Zhao, P.S. Wang , L. Wang, J.J. Xu, P.K. Chu，Microstructure, morphology and their annealing behaviors of alumina synthesized by ion beam assisted deposition，Nucl. Instr. Methods, 2003 B 206, 357-361
8. H.F. Lu, C. Zhang, Q.Y. Zhang，Adatom, vacancy and sputtering yields of low energy Pt atoms impacts on Pt(1 1 1) by molecular dynamics simulation，Nucl. Instr. Methods, 2003 B 206, 22-26
7. Q.Y. Zhang, W.J.Zhao, P.S.Wang, S.Gao, and L.Wang，Microstructures and properties of Er-doped Al2O3 thin films synthesized by ion beam assisted deposition，Surf. Coatings Technol. 158-159 (2002) 538-543
6. Q.Y. Zhang and P.K. Chu，The influence of pulsed beam deposition on the nucleation of thin film，Surf. Coatings Technol. 158-159 (2002) 247-252
5. Q.Y.Zhang, Z.Y.Pan and J.Y.Tang, The role of energetic atoms in the deposition of Au/Au (001) thin films---A computer simulation，Surf. Coatings Technol. 128-129 (2000) 175-180
4. Q.Y.Zhang, J.Y.Tang, G.Q.Zhao, Investigation of the energetic deposition of Au (001) thin films by molecular-dynamics simulation, Nucl. Instr. Meth. B135 (1998) 289-294
3. Q.Y.Zhang, X.X.Mei, D.Z.Yang, et al; Preparation, structure, and properties of TaN and TaC films obtained by ion beam assisted deposition，Nucl. Instr. Meth., B127/128 (1997) 664-668
2. Qing-yu Zhang; Quantitative determination of titanium nitride films by high energy resolution Auger electron spectroscopy，J. Vac. Sci. Technol., A13(1995)2384-2389
1. Q.Y.Zhang, B.Chen, et al;Investigation of TaN films implanted with nitrogen and argon ions,Surf. Coatings Technol. 66(1994)468-471
