定義
名詞解釋一種用來乾燥器件的烘箱，其特別之處是除了能夠加熱外，還能夠控制內部濕度至相對濕度5%RH以下的超低濕狀態。
名詞由來超低濕烘箱最早由洲僑創新除濕技術有限公司發布，其概念源自IPC/JEDEC J-STD-033標準，這項標準主要對濕度敏感器件MSD的管控及烘乾有著明確的定義，其中對於MSD烘乾部分，其明確規定了兩種烘乾條件，
主要特點
超低濕烘箱主要特點是其基本保留了烘箱的結構與功能，同時加入了除濕元素。 其溫度範圍一般為40℃~250℃，濕度範圍一般為常濕至5%RH以下；不過超低濕烘箱還有一項非常重要的特點，就是其溫濕度恢復速度必須非常快，一般不超過15分鐘，因為如果開關門後（烘乾打斷）無法在15分鐘以內恢復至目標溫度及5%RH以下濕度，將被迫更改烘烤時間，將會給用戶實際使用帶來極大不便，所以一般而言超低濕烘箱被認為是必須能夠15分鐘內恢復溫濕度的烘箱。
基本參數
① 溫度：40~250℃
② 濕度：常濕~5%RH以下（40℃~90℃範圍）
③ 烘乾被打斷時溫濕度恢復時間：≤15分鐘
④ 溫濕度的精確監測與設定。
套用
超低濕中溫烘烤套用優勢：超低濕中溫烘烤條件一般指溫度在40℃~90℃間，濕度在5%RH以下；這種烘乾方式主要兩項好處： 第一， 烘烤產品受熱衝擊較小，主要表現在應力方面，100℃下時一般水汽不易快速擴散而損傷器件本身，所以比較100℃以上烘烤條件，很明顯90℃以下烘烤方式更不易損傷被烘烤的元器件。 第二， 無氧化（可焊性）問題，這點可以直接參考標準IPC/JEDEC J-STD-033C（4.2.7.1），即125℃~150℃溫度範圍烘烤器件時必須與供應商確認，否則極易造成嚴重氧化，而90℃~125℃溫度範圍烘烤器件，不能超過96小時，否則同樣會出現嚴重氧化問題，只有90℃以下中溫烘烤時，氧化問題可以被忽略。
開放分類： 烘箱，乾燥櫃，乾燥箱，低濕設備
