結構與工作原理
好凱德真空泵RH系列是單極油封式旋片泵。泵本身帶有防返油閥、氣鎮閥(選配)、出口過濾器、回油線路和和油冷卻迴路。泵由直聯法蘭電機驅動。安裝在泵體中的偏心轉子)有三塊葉片,它們把泵分成三個隔室,每個隔室的容積隨轉子的旋轉周期性的變化。
當轉子旋轉時,抽空腔的進氣部分容積擴大,將氣體從進氣口吸入,氣體經過空氣濾芯,打開的防返油閥進入腔泵。當轉子進一步旋轉,葉片從吸入口將泵腔部分分開。這部分泵腔容積減少,氣體被壓縮。氣體在略高於大氣壓時經過排氣閥從泵腔排出。
油在注入泵腔起密封、潤滑和泵冷卻的作用。壓縮氣體夾帶的油在油箱內由於折轉而被初步捕集。而後在出口油霧分離器中被徹底過濾。於是,排氣中油含量下降至低於可見程度。
註:RH系列泵不能抽空侵蝕性、腐蝕性、易燃或易爆氣體。
研究與發展領域
所有工業品的生產與技術成果都必須經歷廣泛、高投入的研究與發展階段。只有經過仔細研究、測試和開發過程的新產品才能投入到生產或大規模套用中。套用於各研發領域的真空設備、裝置及零備件,其尺寸和能力都是不同的。我們為滿足這些研發用途而專門開發和生產特殊的專業產品。因此,我們能由始至終參與到客戶的整個生產工藝過程中,並獲得寶貴的經驗以使本行業的合作夥伴也能根本受益。
好凱德旋片真空泵的套用領域
半導體技術領域
半導體行業正持續迅速的發展著,為能滿足客戶對產品和工藝快速不斷變化的需求,我們與客戶之間的溝通從未象今天這樣如此重要。真空設備在所有半導體生產過程中發揮著極為重要的作用,針對特殊的生產要求必須選擇適合的真空設備。
過去的幾年裡,為完全滿足半導體行業需求,我們縮短產品開發周期,更加迅速的推出新的產品,大大提高了我們的服務質量。
分析和醫學技術領域
需在真空條件下操作的分析儀器行業是真空設備最大和最複雜的市場之一。這一市場包括平面分析儀器家族,質譜分光光度計,設計各異的電子顯微鏡和氦檢漏儀。我們的產品類型眾多,可適用於實驗室研發及最簡單的桌面操作。一些關鍵的性能參數顯示出好凱德真空泵、測量裝置及部件卓越的工作能力,緊湊的結構設計,高超的技術水平和良好的穩定性能。
好凱德——薄膜技術領域
薄膜技術多為無形但高效的,其套用包括:建築玻璃上鍍膜以隔熱和防輻射,眼鏡片上鍍膜以防止眩光和劃傷,光碟與冷光燈鍍膜以加強光和射線的反射,工具和軸承上鍍膜以避免磨損等。如果不採用真空技術及特殊設計的真空部件,這些都不可能實現。
其它工業套用
真空技術常常用有利於環保的工藝取代那些危害環境的工藝。真空泵及其它真空部件,如測量儀器和檢漏儀可廣泛套用於以下各工業領域:·食品真空包裝
·環保冰櫃、空調
·高純度與高強度金屬的生產
·燈泡和彩色顯像管
·平面顯示器製造
產品發展設計和生產
許多年來,好凱德公司一直對於真空技術基礎的研究和發展大量投入,總投入已達到我們總收入的10%,這也是好凱德能提供頗具有吸引力新型真空產品的重要原因。發展新技術的過程中,好凱德不僅以產品的實際套用為導向,而且更加關注產品的整體質量。所有的泵及其附屬檔案在開發階段,必定經過特殊的壓力與持久性測試。好凱德與好凱德所有供應商的生產過程,都處於持續監控之中,以保證任何可能出現的產品缺陷都將在早期生產階段被檢測並及時消除。
RH系列單級油封旋片泵
主要技術參數
抽速:10立方米每小時~1400立方米每小時極限真空度:
RH0010,RH0020,RH0025,RH0040,極限真空度為
<0.5mbar(無氣鎮分壓強)
<1.5mbar(帶氣鎮分壓強)
RH0100,RH0160,RH0200,RH0250,RH0300,RH0630,RH0750的極限真空度為
<8×10負二次方mbar(無氣鎮分壓強)
<7×10負一次方mbar(帶氣鎮分壓強)
排水蒸氣能力:0.3~23公斤/小時
主要特點有
1、超強的排除水蒸氣的能力。2、出口油霧過濾器為標準配置,真空泵油循環使用,無油煙,清潔、環保、省油。
3、可以在進口壓力為大氣壓的情況下連續工作。
4、在低壓強下仍能保持高的抽速。
5、內置自動防返油閥。
6、RH0630以下為風冷,不需要水冷,經濟方便。
7、低噪音,低振動。
8、結構緊湊,體型小,節省空間。
9、可以與各種附屬檔案配套使用,因而可以滿足各種不同套用的需要。
2RH系列雙級油封旋片泵
主要技術參數為:
抽速:1.6m3/h65m3/h極限真空度:10-4mbar(無氣鎮分壓強)
2×10-3mbar(無氣鎮全壓強)
5×10-3mbar(帶氣鎮全壓強)
耐水蒸汽能力:25mbar40mbar
主要特點有:
1、內置油泵?對泵腔進行強制潤滑。因此可以在入口壓強為大氣壓的情況下連續工作。2、內置自動防返油閥?可在停泵時自動將進氣口截止?防止返油。
3、進氣口和排氣口有水平或垂直兩種安裝方式。
4、極強的耐水蒸汽能力。