壓升率

壓升率：Pressure Rise Rate
壓升率是反映真空設備保持真空的能力。它的測量方法是：在真空系統中，達到一定真空的狀態下，停掉所有抽真空設備，在乾淨、冷態、空載的狀態下在t1和t2的兩個時間點測得真空度為P1和P2的兩個值，壓升率=P2-P1/t2-t1，P的單位為Pa，t的單位為小時，所以壓升率的單位為Pa/h。
我國的標準是1.33Pa/h，國外多是0.67Pa/h。