定義
它是由歐洲、日本、韓國、台灣、美國五個主要的晶片製造地區發起的，一種優先選擇研究方向和制定研發計畫的方式。其目的是為了確保積體電路（IC）和使用IC的產品在成本效益基礎上的性能改進，從而持續半導體產業的健康和成功。英文名為 International Technology Roadmap for Semiconductors，簡稱ITRS。
標誌
發起組織
European Semiconductor Industry Association （ESIA，歐洲半導體工業協會）；
the Japan Electronics and Information Technology Industries Association （JEITA，日本電子與信息技術工業協會）；
the Korean Semiconductor Industry Association （KSIA，韓國半導體工業協會）；
the Taiwan Semiconductor Industry Association （TSIA,台灣半導體工業協會）；
the United States Semiconductor Industry Association（SIA，美國半導體工業聯盟）。
簡介
ITRS每年會組織會議對半導體行業的發展方向進行討論，通過全球晶片製造商、設備供應商、研究團體和consortia的協作努力，ITRS團隊識別關鍵的挑戰，鼓勵創新解決方案，並歡迎來自半導體團體的分享。而最為重要的則是每年在會後發布的ROADMAP（線路圖），ITRS在業內發布的ROADMAP具有半導體行業最高權威性。
2009年國際半導體技術藍圖在現階段EVU技術雖然進展坎坷商業化困難重重，但是這項技術前景仍然看好。但是目前最為實際的情況是193nm光刻技術藉助於沉浸式技術，已經能夠延續到11nm工藝，這為今後幾年的半導體器件蝕刻提供了穩定的技術支撐。
總的來說國際半導體技術藍圖對整個半導體行業的發展起著預見作用，也有著很大的指導作用。如cpu的發展、手機的發展離不開按著其路線圖發展。
