簡介：
1998年8月，由教育部和香港愛國實業家李嘉誠先生及其領導的李嘉誠基金會共同籌資合作實施的“長江學者獎勵計畫”正式啟動。
合肥工業大學儀器儀表學院“精密儀器及機械學科”於2000年被國務院學位辦批准設立“長江學者獎勵計畫”特聘教授崗位，2001年經教育部和香港李嘉誠基金會批准，正式聘請台灣大學范光照教授為該學科首任長江學者特聘教授。范光照教授2001年12月到崗後，即著手創建納米測量實驗室，作為微納米測量技術的研究基地，為在任期內完成一台具有國際先進水平的納米三坐標測量機的研製工作創造必需的工作件。經過半年多的努力，於2002年8月完成了合肥工業大學納米測量實驗室的基本建設工作。
合肥工業大學納米測量實驗室由普通恆溫工作區和高精度恆溫恆濕潔淨室組成，已購置了部分科研用儀器設備。目前納米測量實驗室已成為數項高水平科研項目的研究基地。
合肥工業大學納米測量實驗室成立後，“長江學者獎勵計畫基金項目”－“納米三坐標測量機的研製”開始展開，納米測量技術已成為世界精密測量學科領域前沿的科學，作為標準的測量載體的體三坐標測量機的研製已成為各國學者研究的熱點。美國NIST、英國NPL、德國PTB等國家級實驗室以及Tokyo Univ.、Endihoven Univ.等各國著名大學都開始進行研究。
2003年，國家自然基金項目“創新型高速納米測量微型探頭機理的研究”也申請成功並展開研究；同年，申請獲得重大國際合作項目“納米三維測量關鍵技術與系統研究”，同澳大利亞南澳大學共同承擔其關鍵技術的研究。
2004年9月，范光照教授被合肥工業大學續聘特聘教授，在未來三年里將帶領納米測量。
實驗室以及學院相關專業方向在精密測量技術領域更進一步。
在研項目：
1.納米三維測量關鍵技術與系統研究
2.創新型高速納米測量微型探頭機理的研究
3.納米三坐標測量機的研製
4.立體顯微技術
研究團隊：
范光照 教授 費業泰 教授余曉芬 教授 陳曉懷 教授
張 輝 教授 胡鵬浩 副教授
學術活動：
國際機械工程精密測量學術研討會（ISPMM'2004)和中國計量測試學會幾何量專業2004年年會於2004年8月24日－28日在北京召開，並列為中國計量院科學研究院五十周年院慶的學術活動之一。主辦單位為合肥工業大學（hfut）和中國計量科學研究院（NIM）。
