工藝流程
1、反滲透設備+離子交換設備： 原水→原水箱→原水增壓泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→阻垢劑投加設備→精密過濾器→高壓泵→反滲透主機（單級或者雙級）→CQ2脫氣塔→中間水箱→中間水泵→離子交換床→終端過濾器→超純水
影響高純水水質的因素
在相同的操作電流下，隨著原水電導率的增加則EDI出水的電導率也增加。因為原水電導率低則離子的含量也低，同時低離子濃度使得在淡室中樹脂和膜的表面上形成的電勢梯度也大，這導致水的解離程度增強，極限電流增大，產生的H+和OH-的數量較多，使填充在淡室中的陰、陽離子交換樹脂的再生效果良好。
在原水的電導率為21.5μS/cm時，隨著操作電流的增大而EDI出水的電導率一直很小(0.1～0.05μS/cm)，這是因為原水電導率越小則水解離越劇烈，產生的H+和OH-也越多，樹脂電再生的效果就越好(使其保持良好的交換性能)。當操作電流繼續升高時，H+和OH-除用於再生樹脂外還用於負載電流，故淡室中的水解離程度繼續增大，使得離子交換與樹脂的再生逐漸達到平衡，產水電導率趨於穩定。因此，原水電導率是影響產水水質的最重要因素之一。當進水電導率較高時，隨著操作電流的增加其產水水質有所下降。以原水電導率為100μS/cm時的曲線為例，當操作電流從0逐漸增加到5A時EDI出水的電導率從0.17μS/cm 上升到0.5μS/cm左右(水質有所下降)，其原因是在高鹽度下濃差極化較小、水解離作用弱，樹脂幾乎沒有獲得再生，此時離子交換起了主要作用，短時間內樹脂就被鹽離子所飽和，而這時樹脂主要起到增強離子遷移的作用。
無論進水含鹽量高或低，二級五段的EDI設備對其都有很好的脫鹽效果(脫鹽率>99%)，出水的電導率能夠達到高純水標準(電導率<1μS/cm)。
電導率(T.D.S)：水的導電性即水的電阻的倒數，通常用它來表示水的純淨度。
流量對產水水質的影響
不同進水流量時EDI出水的電導率隨操作電流變化很小，這是因為在電路上，淡室中的溶液相與樹脂相是並聯關係，由於所填充的離子交換樹脂的導電能力遠高於電滲析產水，因此樹脂相電阻成為淡室電阻大小的決定因素。離子傳輸主要通過樹脂相進行，而在一定的淡水流量範圍內流量對樹脂相電阻影響很小，故膜堆總電流不發生明顯變化，產水電導率變化也很小，因此進水流量對水解離程度的影響很小。
操作電壓對產水水質的影響
醫院高純水設備EDI出水水質與操作電壓密切相關。操作電壓過小則不足以在純水排出之前將離子從淡室移出，電滲析過程和樹脂電再生過程都比較微弱，此時主要進行的是離子交換過程。隨著操作電壓的增大則水解離程度增大、樹脂的再生效果好，使得淡水的電導率下降，當操作電壓增加到一定程度時離子交換過程與樹脂的再生過程達到了平衡，產水電導率進一步下降並趨於穩定。但操作電壓過大將引起過量的水電離和離子反擴散而降低產水水質。所以，建議EDI在適當的電壓下運行。
歷史進程
高純水製造歷史進程： 第一階段：預處理過濾器——>陽床——>陰床——>混合床 第二階段：預處理過濾器——>反滲透——>混合床 目前階段：預處理過濾器——>反滲透——>EDI（無需酸鹼） 近幾十年以來，混床離子交換技術（DI）一直作為超純水製備的標準工藝。由於其需要周期性的再生且再生過程中消耗大量的化學藥品（酸鹼）和工業純水，並造成一定的環境問題，因此需要開發無酸鹼超純水系統。正因為傳統的離子交換已經越來越無法滿足現代工業和環保的需求，於是將膜、樹脂和電化學原理相結合的EDI技術成為水處理技術的一場革命。其離子交換樹脂的的再生使用的是電能，而不再需要酸鹼，因而更滿足於當今世界的環保要求。
系統特點
設備套用在反滲透系統之後，取代傳統的混床離子交換技術生產穩定的超純水。EDI技術與混合離子交換技術相比有如下優點: 1. 無需酸鹼再生, 不會因再生而停機, 水質穩定, 無污水排放： 在混床中樹脂需要用化學藥品酸鹼再生， 且需要安全儲存酸鹼的車間, 再生時有大量有害廢水和廢棄物需處理，增加了環保和安全方面的工作困難。 而EDI則消除了這些有害物質的處理和繁重的工作。保護了環境。 2. 運行費用低, 連續、簡單的操作, 容易實現全自動控制：在混床中由於每次再生和水質量的變化，使操作過程變得複雜，而EDI的產水過程是穩定的連續的，產水水質是恆定的，沒有複雜的操作程式，操作大大簡便化。 3. 廠房面積小,降低了安裝的要求：EDI系統與相當處理水量的混床相比，有較不的體積，它採用積木式結構，可依據場地的高度和窨靈活地構造。模組化的設計，使EDI在生產工作時能方便維護。
