人物簡介
1982年和1994年作為課題主持人兩度獲中科院重大科技成果和科技進步二等獎;1989年和1992年作為課題主持人兩度獲得中科院科技進步一等獎;獲國家專利兩項。先後培養碩士生20多名,培養博士生10多名。共發表論文近百篇。
1965年畢業於南京大學物理系核物理專業。
1965年8月-1974年5月工作於中國科學院物理研究所任實習研究員;
1974年6月-1978年8月工作於安徽光機所受控站任實習研究員、助理研究員、課題組長;
1978年8月-1985年5月工作於中國科學院電漿物理研究所,任助理研究員、課題組長;
1985年6月-1993年12月工作於中國科學院電漿物理研究所,任副研究員、研究員、研究室主任;在1992年-1993年12月期間兼任南京雙興高技術開發公司和電漿所鍍膜公司經理;
1994年1月-2000年6月工作於中國科學院電漿物理研究所,任研究員、博士生導師、副所長;中國力學學會電漿專業委員會副主任,安徽省核學會副理事長。在1995年-1998年期間兼任合肥科聚高技術有限責任公司總經理;1997年-2000年期間兼任中科院電漿所高技術公司法人代表、合肥中星電氣設備有限責任公司法人代表。
2000年7月-2006年12月工作於中國科學院電漿物理研究所,任研究員、博士生導師,兼任中國電工學會電磁發射專業委員會副主任,中國力學學會電漿專業委員會委員,安徽省核學會顧問兼諮詢委主任。
2007年-現在受聘於中國科學院電漿物理研究所任學術委員會委員,安徽循環經濟技術工程院任研究員,研飛電器科技有限公司首席技術顧問,榮事達集團中央研究院高級顧問,蕪湖長信科技股份有限公司獨立董事;兼任中國電工學會電磁發射專業委員會副主任。
研究方向
電漿物理,電漿技術和套用,薄膜沉積技術,離子源技術和套用和電磁發射技術和套用。
主要貢獻
從60年代後期以來長期從事核聚變和電漿物理及其套用研究工作。
1974-1982年從事強流離子源和中性束注入加熱研究課題,1982年主持離子源課題組完成了國內第一台實驗強流離子源的研究工作並順利通過鑑定,獲當年中科院重大科技成果二等獎。
1982年起從事電子迴旋共振(ECR)電漿產生、約束、穩定及其套用的研究工作,先後主持和參加了多項國家自然科學基金和中科院重點等有關課題,套用ECR電漿沉積出高質量的高溫超導膜,氧化鋅膜,氮化矽膜,二氧化矽膜等。
1994年主持研製出高水平的深亞微米刻蝕實驗裝置,獲國家專利、中科院科技進步二等獎。
1998年主持的重大基金子課題“微波和微波ECR電漿生成機理的理論研究”結題,研究工作達到國際先進水平,獲有關專家好評。
1986年起主持電磁發射技術的研究工作,在短期內研究電磁軌道炮獲重大進展,分別在1989年、1992年兩度獲得中科院科技進步一等獎。
1992年研製成功四級感應線圈炮,45 kg電樞被加速到15 m/s。1996年和2004年兩次獲得電磁打樁機國家專利。
1996年起指導研究生從事大氣壓放電電漿的研究與套用工作,獲電漿空氣淨化器國家專利一項。
2000年起,先後主持為有關單位研製多台微波ECR電漿原子氧源、空間模擬微波ECR電漿源,微波和微波ECR PECVD鍍膜機,射頻ICPECVD鍍膜機等。
目前正在從事發展電漿源技術,並將電漿技術推廣套用於輔助沉積薄膜、太陽能電池、材料表面處理、空氣淨化、水處理以及空間模擬等領域。
先後培養碩士生20多名,培養博士生10多名。共發表論文近百篇。