上海馳艦半導體科技有限公司

上海馳艦半導體科技有限公司

上海馳艦半導體科技有限公司位於上海市浦東金橋開發區,專注於大學、科研院所以及半導體領域相關設備銷售和服務的高科技企業。公司的產品:在真空焊接領域提供VLO系列真空共晶爐;半導體製程前道設備E系列擴散爐和LPCVD系統;以及最前沿的生產碳化矽半導體器件的高溫退火爐及高溫氧化爐;在電力電子和汽車電子領域提供覆銅陶瓷的DBC連結爐和功率電子器件的連線件;在環保領域提供乾法、濕法及燃燒式的廢氣處理裝置;在真空領域,公司位於上海奉賢區的低溫泵維修中心為各種品牌的低溫泵提供翻新服務;在自動控制領域提供半導體自動化平台整合、設計及機械手臂的翻新。

基本信息

加盟團體

2012年加入上海市真空學會。上海市真空學會成立於1985年,是上海真空科學技術工作者的學術性團體。

2013年2月加入上海市積體電路行業協會。

公司商標

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公司簡介

Centrotherm Photovoltaic AG半導體事業部總代理

Centrotherm公司真空焊接領域的真空共晶爐主要包括VLO6、VLO12、VLO20、VLO180、VLO300/VLO HP,套用於半導體功率模組、航天、光學、LED、PCIM(電力轉換與智慧型運動)以及其他的先進封裝。

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半導體晶圓製程的E系列產品,如E2000,E1550,E1200擴散爐或LPCVD系統,可以得到很好的膜厚均勻性和一致性。

Centrotherm E2000系列水平擴散爐 Centrotherm E2000系列水平擴散爐

SiC器件的高溫系列產品,碳化矽器件高溫活化爐Activator 150-5或Activator 150-50,用於離子注入後退火,最高可以達2050℃;碳化矽高溫氧化爐Oxidator 150-5或Oxidator 150-50能夠滿足SiC圓片的高溫至1380℃氧化工藝, 主要套用於國內高等研究所的第三代半導體的研究套用。

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還有Centrotherm DBC專用燒結爐用於覆銅陶瓷基片鏈式爐設備,並套用於KCC,Curamik和Ferrotec。

DBC 專用燒結爐 DBC 專用燒結爐

Centrotherm Clean Solutions代理

有關半導體製程的有毒廢氣的處理,Centrotherm clean solutions提供 CT-BW2009系列、CT-W系列、CT-D系列尾氣處理(scrubber)系統。

CT-W 濕法尾氣處理 CT-W 濕法尾氣處理

Oxford Instruments Austin代理

Oxford Instruments Austin低溫泵代理,並在上海市奉賢區金匯鎮建立低溫泵翻新中心,低溫泵包括Austin CP系列CP8/CP8LP/CP10/CP16、CTI 系列CT8/CT8F/CT10/CT400/OB8/OB400和氦氣壓縮機M125,M600(最新套用在GTAT極特熱交換藍寶石爐中),提供半導體領域的維護和技術諮詢服務。

低溫泵系統 低溫泵系統

德國BINDER-tecsys Kontakte GmbH代理

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德國賓得技術系統Binder-tecsys團隊自1959年以來即在電子技術、功率電子、通訊、航空航天技術、醫療技術和汽車工業領域成功效力於我們的客戶。目前,在世界範圍內包括德國、美國、歐盟及遠東地區,從原型樣品到批量生產零件再到可釺接的清潔和自動包裝,我們均可提供項目實施,並通過最佳化供貨時間來保證為客戶提供專業服務。

德國賓得技術系統在功率電子器件的套用,連線器件經過鍍鋁、鍍金、四周噴塗後作為框線、插在塑膠框線或板上、經過予裝配、排針插頭,最後所有部件都經過出廠連線測試,並套用於Infineon、Semikron、Danfoss、Ixys、Powersem。

半導體機械手臂業務

半導體機械手臂包括美系PRI/Equipe ATM105/405、PRE200/300、ESC200、Brooks Z-bot、Genmark GB4/7/8,以及日系機械手Rorze RR304/RR700和MECS800/801、MECS1100/1200的翻新、維修以及技術支持。

半導體輔助設備業務

生產和銷售半導體潔淨烘箱、真空烘箱、用於管道氣體傳輸的加熱帶、清洗石英管的水槽、放置石英管以及備件的擴散爐管儲存櫃(tube storage),提供Walking Johnson的WJ999、WJ1000設備的N2 shield和Orifice等備件。

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