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《微機電系統動力學》是以作者所在微機電系統（MEMS）課題組近年來的科學研究工作為基礎，融合了其他科研人員的研究成果編著而成。主要介紹了MEMS技術革命歷程、基本概念、動力學概況及其非線性特徵；微驅動原理及尺度效應；各種常見的MEMS宏建模與分析方法、多能量場耦合降階建模與模擬仿真技術等基本內容。著重介紹了靜電驅動MEMS所涉及的各種靜電驅動方式、靜電吸合和參數激勵耦合等非線性動力學問題；微旋轉機械中微電機和動力MEMS的發展概況。《微機電系統動力學》旨在通過對MEMS動力學問題的綜合探討，試圖引起人們對MEMS動力學研究的興趣和重視，促進MEMS動力學的發展、加快MEMS套用和產業化的步伐、提高MEMS使用的工作效率和可靠性。·《窗里窗外》林青霞唯一自傳>>·《超好看》南派三叔主編65折熱賣>>
內容簡介
《微機電系統動力學》著重介紹微機電系統動力學的相關理論基礎與套用。全書共分為7章，主要內容包括微機電系統及微機電系統動力學科學問題的發展背景、現狀和未來的介紹；微驅動原理及尺度效應、微機電系統動力學相關理論基礎的概述；微機電系統宏建模與分析方法、多能量場耦合降階建模與模擬仿真技術的介紹；微機電系統中涉及的多種氣體阻尼和熱彈性阻尼特性的分析與探討；靜電驅動微機電系統非線性動力學特性和微轉子系統中的摩擦磨損行為、氣體軸承動力潤滑特性和非線性振動特性等方面的論述；微機電系統動態特性測試技術的介紹。目錄
前言第1章緒論
1.1MEMS技術革命歷程
1.2MEMS的基本概念與特徵
1.3MEMS動力學及其非線性特徵
1.4MEMS動力學研究概況
1.5MEMS的市場和套用前景
1.6MEMS的相關資訊
參考文獻
第2章MEMS動力學理論基礎
2.1尺度效應
2.2微驅動原理及尺度效應
2.3MEMS力學特性
2.4MEMS振動特性
2.5MEMS摩擦學
